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| 面板TEG Prober | |||||
| 型號(hào) | TEG prober-G6 | TEG prober-G8.5 | |||
| 外形 | 2850mm(寬)x2500mm(長(zhǎng))x2500 mm(高) | 4000mm(寬)x3500mm(長(zhǎng))x2500 mm(高) | |||
| 重量 | 約9700KG | 約14200KG | |||
| 電力需求 | 380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max | ||||
| 可測(cè)試液晶屏尺寸 | 長(zhǎng)寬≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 長(zhǎng)寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm | |||
| 平臺(tái)功能 | Gantry結(jié)構(gòu) | 龍門式，可以選擇雙龍門 | |||
| X-Y-Z軸運(yùn)動(dòng)行程 | 1850*1500 *58mm(X-Y-Z) | 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) | |||
| X-Y運(yùn)動(dòng)速度 | 0~600mm/s可調(diào) | 探針規(guī)格 | 針卡 | 兩套，可同時(shí)測(cè)試兩個(gè)patten | |
| X-Y精度(最小移動(dòng)量) | 0.1um | Pitch范圍：定制 | |||
| X-Y重復(fù)定位精度 | ±1um | 探針材質(zhì)：鎢or鈹銅等 | |||
| X-Y 軸驅(qū)動(dòng) | 直線電機(jī)+光柵尺 | 工作模式：可以單獨(dú)測(cè)試，或者兩個(gè)針卡一起測(cè)試。兩個(gè)針卡間的相互距離可調(diào)。 | |||
| Z 運(yùn)動(dòng)速度 | 0~10mm/s可調(diào) | ||||
| Z精度 | 0.25um | 探針和TEG對(duì)位方式 | 坐標(biāo)定位 | ||
| Z重復(fù)定位精度 | ±1um | 測(cè)試過(guò)程中的二次視覺(jué)檢測(cè) | |||
| Z軸驅(qū)動(dòng) | 伺服電機(jī)+光柵尺 | 探針和TEG的接觸方式 | 自動(dòng)接觸 | ||
| Z軸保護(hù) | 電機(jī)自鎖+機(jī)械限位保護(hù) | 探針自動(dòng)保護(hù)功能:edge sensor 和機(jī)械限位，可以根據(jù)panel厚度設(shè)定限位高度，點(diǎn)針的OD值可設(shè)。 | |||
| 樣品臺(tái)平整度 | ±50um平整度 | ||||
| 樣品臺(tái)涂層 | 防靜電涂層 | ||||
| 樣品臺(tái)高低溫 | Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃) | ||||
| 光學(xué)特性 | 光路系統(tǒng)倍率： | 5X ,10X ,20X，50X Objects | 探針軸旋轉(zhuǎn)行程 | ±90° | |
| 放大倍率范圍50X~ 500X | 探針旋轉(zhuǎn)精度 | 0.01° | |||
| 聚焦 | 自動(dòng)聚焦 | 旋轉(zhuǎn)重復(fù)定位精度 | 0.03° | ||
| CCD | 200/500萬(wàn)像素工業(yè)相機(jī) | 探針清潔 | 自動(dòng)清針 | ||
| 光源 | 面背光、點(diǎn)背光、上光源 | 清潔后自動(dòng)測(cè)針 | |||
| 光源亮度獨(dú)立可調(diào)，面背光可選擇分區(qū)控制 | 探針臺(tái)漏電精度（安裝針卡的情況） | 100fA 以內(nèi)（測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：給針卡任意針腳加壓—5V~+5V，在不吹N2的情況下，空載測(cè)試漏電流<100fA）吹氮?dú)?/span>N2輔助干燥(Recipe 可以設(shè)置是否開(kāi)啟N2且N2測(cè)試報(bào)告體現(xiàn)開(kāi)N2與不開(kāi)N2區(qū)別) | |||
| 激光特性（選件） | 激光系統(tǒng) | 激光切割系統(tǒng)（2.2mj/Pluse Maximum@50Hz) | |||
| 0-100% | |||||
| 激光波長(zhǎng) | 1064nm，532nm，355nm | ||||
| 光斑尺度 | 1.0um @100X object | 測(cè)試能力 | 測(cè)試系統(tǒng) | 兩套 | |
| 2.0um @50X object | 半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng):2*HRSMU+4*MPSMU+CV 測(cè)試單元+高精度矩陣開(kāi)關(guān)等 | ||||
| 工作模式 | One Shot/Burst/Continue | ||||
| 形狀 | 可調(diào)節(jié)的矩形 | TFT測(cè)試項(xiàng)目 | Ion | ||
| 控制 | 工作模式 | 自動(dòng)測(cè)試，CIM通訊，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動(dòng)導(dǎo)入和輸出 | Ioff | ||
| Vth | |||||
| 上下片 | 機(jī)械手或者流水線 | Mobility | |||
| CIM系統(tǒng) | 有 | Swing | |||
| 減震 | 被動(dòng)式減震系統(tǒng)，能夠確保點(diǎn)針測(cè)試的穩(wěn)定性 | Resistance測(cè)試項(xiàng)目 | Rs | ||
| 工業(yè)PC | 23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤2塊 | Rc | |||
| (其中一塊為備份硬盤)，8G內(nèi)存，1G獨(dú)立顯卡 | 最大輸送電壓 | ±200V | |||
| 通訊接口 | RS232/485/TCP/IPGPIB等 | 最大輸送電流 | ±1A | ||
| 安全 | 整機(jī)帶屏蔽罩，操作人員在屏蔽罩外操作 | 電流測(cè)試分辨率 | 1fA（無(wú)需前置放大器） | ||
| 緊急開(kāi)關(guān)EMO | 電壓測(cè)試分辨率 | 0.5uV | |||
| 限位sensor，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和探針系統(tǒng)限位互鎖 | CV 測(cè)試頻率范圍 | 1kHz~5MHz | |||
| Interlock報(bào)警，自動(dòng)關(guān)閉系統(tǒng)(軟件設(shè)置為可選) | 接地單元電流宿能力 | 4.2A GNDU | |||
| 應(yīng)用方向 | OLED/TFT-LCD Panel TEG 電學(xué)測(cè)試 | ||||
| 特點(diǎn)： | |||||
| 業(yè)界最快的測(cè)試速度 | 超高的測(cè)試精度 | ||||
| 穩(wěn)定的測(cè)試結(jié)果 | mult-probe card設(shè)計(jì) | ||||
| 0.1um精度的直線電機(jī)平臺(tái) | 自動(dòng)清針，自動(dòng)測(cè)針 | ||||
| 極小的針痕損傷 | 全自動(dòng)測(cè)試 | ||||
超高的測(cè)試精度，效率和穩(wěn)定性 便捷的儀器接入
多倍率同時(shí)顯示光學(xué)系統(tǒng)
可升級(jí)大功率晶圓測(cè)試
（-60~200℃）超低噪聲高低溫Chuck可升級(jí)射頻測(cè)試
功能豐富的測(cè)試軟件
量產(chǎn)型半自動(dòng)/全自動(dòng)探針臺(tái)
超高的測(cè)試精度和超快測(cè)試速度自動(dòng)alignment/找晶圓中心/測(cè)量diesize
支持單點(diǎn)測(cè)試和連續(xù)測(cè)試功能豐富的測(cè)試軟件
便捷的儀器接入可升級(jí)自動(dòng)wafer厚度測(cè)量和ID讀卡
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