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量產(chǎn)型半自動(dòng)/全自動(dòng)探針臺(tái)SA-6/SA-8/SA-12

量產(chǎn)型半自動(dòng)/全自動(dòng)探針臺(tái)

  • 價(jià) 格： 電議
  • 型號(hào)：SA-6/SA-8/SA-12
  • 生 產(chǎn) 地：中國大陸
  • 訪問：8次
  • 發(fā)布日期：2018/12/28(更新日期：2023/2/6)

深圳市森美協(xié)爾科技有限公司

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產(chǎn)品展示

超高的測(cè)試精度和超快測(cè)試速度自動(dòng)alignment/找晶圓中心/測(cè)量diesize
支持單點(diǎn)測(cè)試和連續(xù)測(cè)試功能豐富的測(cè)試軟件
便捷的儀器接入可升級(jí)自動(dòng)wafer厚度測(cè)量和ID讀卡
  • 詳細(xì)內(nèi)容
  • 公司簡(jiǎn)介
 
量產(chǎn)型半自動(dòng)/全自動(dòng)探針臺(tái)
型號(hào) SA-6/SA-8/SA-12 外形 1500（長）*1700（寬）*1100(高)
重量 1700kg 電力需求/功率 220VAC±10V/50Hz/2.2KW
規(guī)格參數(shù) 能夠測(cè)試的晶圓直徑 6,”8”,12”
晶圓厚度 300≤T≤1000um（標(biāo)準(zhǔn)）  300≧T(薄片機(jī)型）
晶圓厚度偏差  50um 
Index time 300ms(標(biāo)準(zhǔn)速度， die尺寸 10mm , 包括Z上下0.3mm移動(dòng)的時(shí)間)
Chuck 具備5軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)  （X/Y/Z/theta/F）
X-Y軸行程  380mm, 最高速度300mm/s, 分辨率0.1um 
XY全行程機(jī)械定位精度 ±2um（環(huán)境溫度在±1°以內(nèi)波動(dòng)時(shí)）
XY最大速度 300mm/s
Chuck平面度 ≤5 um
Z軸行程 37mm，探針分離高度0.3mm,速度30毫秒/0.3mm 
Z軸移動(dòng)解析度 0.1um
Z軸定位精度 ±2um
Theta 軸 ±5°/0.0001°
光柵尺 0.1um光柵尺 
預(yù)對(duì)位平臺(tái) 光學(xué)原理檢測(cè)， 平邊或者notch ±1°定位精度 
晶圓機(jī)械手 陶瓷機(jī)械手，cassette *1
晶圓裝載單元 一個(gè)升降單元，預(yù)對(duì)位單元，晶圓傳輸子單元以及他們的接口
自動(dòng)對(duì)位系統(tǒng) 自動(dòng)水平掃描、自動(dòng)第一測(cè)試點(diǎn)定位、自動(dòng)測(cè)試中心定位
自動(dòng)上下片系統(tǒng) 料盒安全保護(hù)、晶圓定位邊預(yù)對(duì)準(zhǔn)
精確對(duì)位單元 pattern matching
位移傳感器 采用靜電容傳感器 ， 分辨率 2um （option)
照明 同軸鹵素?zé)粽彰骰?/font>LED光源
視場(chǎng) 低倍情況：4.9*3.6mm 中倍情況：1*0.72mm 高倍情況：0.49*0.36mm
PC配置 I5CPU，4G內(nèi)存，128G固態(tài)硬盤等
LCD 顯示器 對(duì)位顯示為黑白，其他顯示為彩色，中文
鍵盤 單元大小 15*15mm, 46 字母數(shù)字
報(bào)警器(三色燈) 紅，黃，綠
操作場(chǎng)地要求 2200mmX2200mm
操作界面 Windows中文操作界面，中文MAPING動(dòng)態(tài)顯示 
標(biāo)記 上下標(biāo)記 ，標(biāo)記可以實(shí)時(shí)或者離線標(biāo)記，標(biāo)記耗時(shí)15~300ms，采用ink或者Laser 
可以采用的cassette形式  FOUP 12/8/6”(13或者25片)；light FOUP 12/8/6”(13或者25片)，12/8/6” open cassette 
可選附件 自動(dòng)磨針臺(tái) 可以兼容高頻測(cè)試頭 晶圓ID 識(shí)別功能
可以匹配自動(dòng)晶圓盒取放設(shè)備（AGV or OHT）  直接和晶圓傳輸控制電腦或者服務(wù)器通訊
FOUP(front open unified Pod)有別于普通open cassette , 帶有潔凈氣體單元（mini environment），可以在晶圓傳輸過程保持潔凈在Class100潔凈室里面，探針臺(tái)內(nèi)部可以達(dá)到Class 1“主體包括：控制盒，TTL，RS232，GBIP測(cè)試機(jī)接口
　
特點(diǎn)
超高的測(cè)試精度和超快測(cè)試速度 自動(dòng)alignment/找晶圓中心/測(cè)量diesize
支持單點(diǎn)測(cè)試和連續(xù)測(cè)試 功能豐富的測(cè)試軟件
便捷的儀器接入 可升級(jí)自動(dòng)wafer厚度測(cè)量和ID讀卡

    深圳市森美協(xié)爾科技有限公司(SEMISHARE)致力半導(dǎo)體技術(shù)的共享事業(yè)，注于促進(jìn)中國半導(dǎo)體行業(yè)的快速成長，目標(biāo)成為半導(dǎo)體行業(yè)先的total solution供應(yīng)商。目設(shè)有先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備制造工廠和半導(dǎo)體儀器代理營銷事業(yè)部。
 
     SEMISHARE半導(dǎo)體儀器營銷事業(yè)部代理的設(shè)備包括半導(dǎo)體檢測(cè)，修復(fù)設(shè)備：SEMISHARE品牌探針臺(tái)(probe station)和激光修復(fù)機(jī)(laser repair)，I-V/C-V參數(shù)測(cè)試儀，網(wǎng)絡(luò)分析儀，激光系統(tǒng)，金相顯微鏡，EMMI微光顯微鏡，X射線，C-SAM超聲波探測(cè)，SEM電子顯微鏡 。晶圓工藝設(shè)備：晶圓鍵合，去膠，沉積，等離子刻蝕，擴(kuò)散,氧化爐，勻膠機(jī)，光刻機(jī)，磁控濺射機(jī)臺(tái)，電子束蒸渡機(jī)。
 
     SEMISHARE半導(dǎo)體儀器代理營銷事業(yè)部立足中國深圳，香港，北京，上海，西安等城市為全中國半導(dǎo)體行業(yè)提供全球先進(jìn)的半導(dǎo)體檢測(cè)和工藝設(shè)備營銷與技術(shù)集成服務(wù)，助力先進(jìn)技術(shù)的研發(fā)。
 
     SEMISHARE先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備制造工廠總資產(chǎn)達(dá)5000余萬元，廠房面積約5000平方米，擁有萬恒溫恒濕無塵，現(xiàn)有員工100余人，其中業(yè)技術(shù)人員80余人，公司擁有先進(jìn)的生產(chǎn)工藝及品控檢測(cè)，主要設(shè)備有：CNC加工中心、壓鑄機(jī)、精雕機(jī)、CNC、光纖激光鐳射機(jī)、CD紋機(jī)、批字機(jī)、各種噸位沖床、線割機(jī)、火花機(jī)、各噸位塑膠注塑機(jī)、耐磨測(cè)試儀、人工汗測(cè)試儀等。2009年，我們開始研發(fā)制造SEMISHARE品牌探針臺(tái)(probe station)和激光修復(fù)設(shè)備(laser repair)，獲得國家20多項(xiàng)利授權(quán)。
 
     SEMISHARE擁有熱誠，業(yè)的員工和遍及中國的營銷及服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，快速響應(yīng)客戶需求，提供客戶化的產(chǎn)品和端到端的服務(wù)，助力客戶的成功。
 
     目，SEMISHARE的產(chǎn)品和解決方案已經(jīng)應(yīng)用于中國500多家客戶，服務(wù)中國半導(dǎo)體研發(fā)機(jī)構(gòu)50強(qiáng)中的40多家。
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    業(yè)界最快的測(cè)試速度
    超高的測(cè)試精度
    穩(wěn)定的測(cè)試結(jié)果
    mult-probe card設(shè)計(jì)
    0.1um精度的直線電機(jī)平臺(tái)
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    SX系列半自動(dòng)晶圓探針臺(tái)

    超高的測(cè)試精度，效率和穩(wěn)定性 便捷的儀器接入
    多倍率同時(shí)顯示光學(xué)系統(tǒng)
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    （-60~200℃）超低噪聲高低溫Chuck可升級(jí)射頻測(cè)試
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