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1200℃低真空CVD系統(tǒng)YHGS-120613

1200℃低真空CVD系統(tǒng)

  • 價 格: 電議
  • 型號:YHGS-120613
  • 生 產(chǎn) 地:中國大陸
  • 訪問:20次
  • 發(fā)布日期:2017/1/5(更新日期:2017/1/5)

上海煜志機電設(shè)備有限公司

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1200℃低真空CVD系統(tǒng)是由YGS-120610管式實驗電爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達1200℃,通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度;同時通過三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。是為石墨烯生長、研發(fā)的專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。
  • 詳細內(nèi)容
  • 公司簡介
 主要技術(shù)參數(shù):

爐體結(jié)構(gòu)

整機采用SUS304不銹鋼材質(zhì),流線型外觀,斷熱式結(jié)構(gòu);

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩(wěn)

爐子可以手動從一端滑向另一端,實現(xiàn)快速的加熱和冷卻

支撐兩端安裝油壓緩沖器

爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料

電源

電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

爐管

高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小

尺寸:Φ60*1200mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

加熱系統(tǒng)

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,表面負荷高、經(jīng)久耐用

加熱區(qū)長度:300mm

恒溫區(qū)長度:150mm

工作溫度:≤1150

最高溫度:1200

升溫速率:10/min

溫控系統(tǒng)

溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能

30段升降溫程序

測溫元件:N型熱電偶

恒溫精度:±1℃

混氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計:數(shù)字顯示、氣體流量自動控制

內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套

每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥

通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量

流量規(guī)格:0~1SLM

流量精度:±1.5%

真空系統(tǒng)

采用雙極旋片真空泵,真空度可達10Pa 

真空機械壓力表+電阻真空計顯示

可選高真空系統(tǒng)及真空計,壓力控制系統(tǒng)等

可選配件

混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀。

 

 


上海煜志機電設(shè)備有限公司是一家專注于新材料、新能源全套設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)銷售一體的高科技企業(yè),公司下設(shè)三個事業(yè)部(儀器設(shè)備事業(yè)部、新材料事業(yè)部、新能源事業(yè)部)和一個實驗測試中心。儀器設(shè)備事業(yè)部提供從“研磨、混合、分散均質(zhì)乳化-干燥-成型-高溫?zé)Y(jié)-切磨拋-測試”一條龍服務(wù),為您的材料實驗室量身定制全面的解決方案,我們可根據(jù)您的工藝要求,將您的科研成果同步放大,真正實現(xiàn)實驗室到批量生產(chǎn)的無縫對接。主要產(chǎn)品有:研磨、混合、分散均質(zhì)乳化設(shè)備(球磨機、粉碎機、研磨分散乳化機);干燥設(shè)備(噴霧干燥機、真空干燥箱、流化床干燥機);成型設(shè)備(壓片機等);高溫?zé)Y(jié)設(shè)備(箱式爐、管式爐、CVD系統(tǒng)、真空燒結(jié)爐、真空熔煉爐及各種非標(biāo)加熱爐);切、磨、拋設(shè)備(切割機、研磨機、拋光機);測試設(shè)備(硬度計、金相設(shè)備、顯微鏡等)。新材料事業(yè)部與多所高校和研究所展開緊密合作,可提供多種陶瓷、薄膜、晶體的制備工藝及成套設(shè)備,在碳材料方面可提供石墨烯、碳纖維、碳納米管及氣凝膠燒結(jié)的整套解決方案。我們開發(fā)的成套設(shè)備有:機械剝離法石墨烯粉體生產(chǎn)線、石墨烯薄膜卷對卷連續(xù)制備系統(tǒng)、碳纖維規(guī)模生產(chǎn)線、碳納米管連續(xù)制備裝置、大尺寸氣凝膠燒結(jié)設(shè)備等。新能源事業(yè)部是在國家清潔能源與可再生能源發(fā)展戰(zhàn)略背景下,圍繞國家能源“十三五規(guī)劃”中的太陽能、風(fēng)能以及分布式儲能等系統(tǒng)中傳熱、儲熱熔鹽系統(tǒng)的需求成立的,專門針對熔鹽在傳熱儲能等應(yīng)用中的關(guān)鍵問題,為客戶提供優(yōu)質(zhì)的熔鹽化學(xué)化工技術(shù)與設(shè)備的專業(yè)提供商、服務(wù)商和集成商。長期與中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所,中國科學(xué)院上海有機化學(xué)研究所,中國工程物理研究院材料所等研究院所合作,開發(fā)設(shè)計了一系列高溫熔鹽熔融設(shè)備、熔鹽存儲轉(zhuǎn)運設(shè)備、熔鹽電解精煉系統(tǒng)、熔鹽關(guān)鍵物性檢測設(shè)備等高溫熔鹽相關(guān)設(shè)備與系統(tǒng),成功解決了熔鹽熔融制備、凈化存儲、分析檢測、傳熱儲能等應(yīng)用中的諸多關(guān)鍵技術(shù)問題。公司擁有多名高級顧問,均來自國內(nèi)外頂級科研單位和高等學(xué)府,其中研究員3人,博士5人,碩士5人,他們長期從事化工機械、先進材料、新型熔鹽等方面的研究,為公司的發(fā)展有效的提供了智力支持和技術(shù)保障。公司坐落在上海市嘉定工業(yè)園區(qū),占地面積超10畝,交通便利,沈海高速朱橋出口即到。“致力創(chuàng)新、助力科研”,我們愿為新材料、新能源的發(fā)展做出我們一點微薄的貢獻。“煜耀東方、志在千里”,上海煜志機電設(shè)備有限公司全體員工期待您的光臨!
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