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RTP快速退火爐YWRTP-101405

RTP快速退火爐

  • 價 格: 電議
  • 型號:YWRTP-101405
  • 生 產(chǎn) 地:中國大陸
  • 訪問:17次
  • 發(fā)布日期:2017/2/10(更新日期:2017/2/10)

上海煜志機電設備有限公司

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產(chǎn)品展示

YWRTP-101405快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能強大的加熱設備。該產(chǎn)品采用進口紅外線加熱管加熱,造型新穎結構合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸130MM,可以直接放下5英寸的材料。廣泛用于半導體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領域,可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火,氧化物生長以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。
  • 詳細內(nèi)容
  • 公司簡介
 YWRTP-101405快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能強大的加熱設備。該產(chǎn)品采用進口紅外線加熱管加熱,造型新穎結構合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸130MM,可以直接放下5英寸的材料。試樣反應區(qū)處在一個密閉的石英腔體內(nèi),在完成生產(chǎn)工藝的同時,也大大降低了間接污染試樣的可能性。廣泛用于半導體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領域,可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火,氧化物生長以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。

主要功能和特點:

1、 可視化7寸觸摸屏,設定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面,操作方便;

2、 爐體配備高精度移動平臺,運行平穩(wěn)無抖動;

3、 爐管可自由移動,且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;

4、 爐體爐管可左右移動,當爐管移出爐膛時冷確風扇啟動,可實現(xiàn)試樣的迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱的實驗要求;

5、 爐膛采用進口多晶纖維真空吸附制成,采用進口紅外線加熱管加熱,使用壽命可達5000小時,升溫速度快,最高溫度可達1050℃。

6、 預留了真空、氣路快速接口,可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;

7、 預留了485轉換接口,可通過我司專用軟件,與計算機互聯(lián),可實現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能;

8、 可內(nèi)置熱電偶,實時監(jiān)測加熱物料溫度。

9、 設置超溫報警并斷電,漏電保護,操作安全可靠。

技術參數(shù):

產(chǎn)品型號

YWRTP-101405

爐體結構

雙層殼體結構,高精度移動平臺

爐膛材質(zhì)

日本技術真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

爐管材質(zhì)

高純石英管;Φ140*500mm,有效試樣空間:5英寸

密封法蘭

不銹鋼快速擠壓密封法蘭

溫控系統(tǒng)

溫度控制系統(tǒng)采用觸摸屏操作,人工智能調(diào)節(jié)技術,具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能,并可編制30段升降溫程序;溫精度±1

顯示模式

液晶觸摸屏顯示

加熱元件

進口紅外燈管

測溫元件

N型熱電偶

使用溫度

最高溫度1050,連續(xù)工作溫度1000

升溫速度

推薦≤20/ sec,最快升溫速度50/sec

降溫速度

200℃以上≤25min

恒溫區(qū)

加熱區(qū)長度200mm,恒溫區(qū)50mm(±2);80(±3)

尺寸和重量

設備:610*1150*550mm (深**); 凈重 85kg

機器電源

AC220V,50/60Hz;額定功率15kw

可選真空

50Pa(常規(guī)機械泵+指針壓力表)

10Pa(高配機械泵+數(shù)顯壓力表)

可選混氣

多通道浮子、質(zhì)量混氣系統(tǒng)

爐架,各種石英、剛玉坩堝,石英管,高溫手套,計算機控制軟件等。

 


上海煜志機電設備有限公司是一家專注于新材料、新能源全套設備研發(fā)生產(chǎn)銷售一體的高科技企業(yè),公司下設三個事業(yè)部(儀器設備事業(yè)部、新材料事業(yè)部、新能源事業(yè)部)和一個實驗測試中心。儀器設備事業(yè)部提供從“研磨、混合、分散均質(zhì)乳化-干燥-成型-高溫燒結-切磨拋-測試”一條龍服務,為您的材料實驗室量身定制全面的解決方案,我們可根據(jù)您的工藝要求,將您的科研成果同步放大,真正實現(xiàn)實驗室到批量生產(chǎn)的無縫對接。主要產(chǎn)品有:研磨、混合、分散均質(zhì)乳化設備(球磨機、粉碎機、研磨分散乳化機);干燥設備(噴霧干燥機、真空干燥箱、流化床干燥機);成型設備(壓片機等);高溫燒結設備(箱式爐、管式爐、CVD系統(tǒng)、真空燒結爐、真空熔煉爐及各種非標加熱爐);切、磨、拋設備(切割機、研磨機、拋光機);測試設備(硬度計、金相設備、顯微鏡等)。新材料事業(yè)部與多所高校和研究所展開緊密合作,可提供多種陶瓷、薄膜、晶體的制備工藝及成套設備,在碳材料方面可提供石墨烯、碳纖維、碳納米管及氣凝膠燒結的整套解決方案。我們開發(fā)的成套設備有:機械剝離法石墨烯粉體生產(chǎn)線、石墨烯薄膜卷對卷連續(xù)制備系統(tǒng)、碳纖維規(guī)模生產(chǎn)線、碳納米管連續(xù)制備裝置、大尺寸氣凝膠燒結設備等。新能源事業(yè)部是在國家清潔能源與可再生能源發(fā)展戰(zhàn)略背景下,圍繞國家能源“十三五規(guī)劃”中的太陽能、風能以及分布式儲能等系統(tǒng)中傳熱、儲熱熔鹽系統(tǒng)的需求成立的,專門針對熔鹽在傳熱儲能等應用中的關鍵問題,為客戶提供優(yōu)質(zhì)的熔鹽化學化工技術與設備的專業(yè)提供商、服務商和集成商。長期與中國科學院上海應用物理研究所,中國科學院上海有機化學研究所,中國工程物理研究院材料所等研究院所合作,開發(fā)設計了一系列高溫熔鹽熔融設備、熔鹽存儲轉運設備、熔鹽電解精煉系統(tǒng)、熔鹽關鍵物性檢測設備等高溫熔鹽相關設備與系統(tǒng),成功解決了熔鹽熔融制備、凈化存儲、分析檢測、傳熱儲能等應用中的諸多關鍵技術問題。公司擁有多名高級顧問,均來自國內(nèi)外頂級科研單位和高等學府,其中研究員3人,博士5人,碩士5人,他們長期從事化工機械、先進材料、新型熔鹽等方面的研究,為公司的發(fā)展有效的提供了智力支持和技術保障。公司坐落在上海市嘉定工業(yè)園區(qū),占地面積超10畝,交通便利,沈海高速朱橋出口即到。“致力創(chuàng)新、助力科研”,我們愿為新材料、新能源的發(fā)展做出我們一點微薄的貢獻。“煜耀東方、志在千里”,上海煜志機電設備有限公司全體員工期待您的光臨!
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