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1200℃高真空PECVD系統(tǒng)YHGS-120613I-3ZGPE

1200℃高真空PECVD系統(tǒng)

  • 價 格: 電議
  • 型號:YHGS-120613I-3ZGPE
  • 生 產(chǎn) 地:中國大陸
  • 訪問:13次
  • 發(fā)布日期:2017/1/5(更新日期:2017/1/5)

上海煜志機電設備有限公司

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產(chǎn)品展示

PECVD工藝中由于等離子體中高速運動的電子撞擊到中性的反應氣體分子,就會使中性反應氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應;借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜;
  • 詳細內(nèi)容
  • 公司簡介
 產(chǎn)品簡介:

    PECVD工藝中由于等離子體中高速運動的電子撞擊到中性的反應氣體分子,就會使中性反應氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應;借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜;具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點;

1200℃高真空PECVD系統(tǒng)通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫,配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度;同時通過多路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。 主要應用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。

二、主要技術參數(shù):

爐體結(jié)構(gòu)

整機采用SUS304不銹鋼材質(zhì),流線型外觀,斷熱式結(jié)構(gòu);

日本技術真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩(wěn)

爐子可以手動從一端滑向另一端,實現(xiàn)快速的加熱和冷卻

爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料

電源

電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

爐管

高純石英管,高溫下化學穩(wěn)定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小

尺寸:Φ60*1200mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O型圈緊密密封可獲得高真空

一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

加熱系統(tǒng)

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,表面負荷高、經(jīng)久耐用

加熱區(qū)長度:300mm

恒溫區(qū)長度:150mm

工作溫度:≤1150

最高溫度:1200

升溫速率:10/min

溫控系統(tǒng)

日本富士溫控儀表,64段控溫程序,可分步、分段

 

混氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計:數(shù)字顯示、氣體流量自動控制

內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套

每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥

通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量

流量規(guī)格:0~200sccm

流量精度:±1.5%

高真空真空系統(tǒng)

采用雙級旋片真空泵+分子泵,極限真空可達4.0*10^-4Pa

復合真空計,配置電阻規(guī)+電離規(guī)

抽速:110L/S

冷卻:風冷

電源:AC220V 50/60Hz

射頻電源系統(tǒng)

輸出功率:0-300W 

功率穩(wěn)定度:±0.1%

射頻電源頻率:13.56MHz 穩(wěn)定性±0.005% 

最大反向功率:120W      

射頻電源電子輸出端口:UHF

冷卻:風冷

電源:AC187-253V 50/60Hz

可選配件

混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀。

 


上海煜志機電設備有限公司是一家專注于新材料、新能源全套設備研發(fā)生產(chǎn)銷售一體的高科技企業(yè),公司下設三個事業(yè)部(儀器設備事業(yè)部、新材料事業(yè)部、新能源事業(yè)部)和一個實驗測試中心。儀器設備事業(yè)部提供從“研磨、混合、分散均質(zhì)乳化-干燥-成型-高溫燒結(jié)-切磨拋-測試”一條龍服務,為您的材料實驗室量身定制全面的解決方案,我們可根據(jù)您的工藝要求,將您的科研成果同步放大,真正實現(xiàn)實驗室到批量生產(chǎn)的無縫對接。主要產(chǎn)品有:研磨、混合、分散均質(zhì)乳化設備(球磨機、粉碎機、研磨分散乳化機);干燥設備(噴霧干燥機、真空干燥箱、流化床干燥機);成型設備(壓片機等);高溫燒結(jié)設備(箱式爐、管式爐、CVD系統(tǒng)、真空燒結(jié)爐、真空熔煉爐及各種非標加熱爐);切、磨、拋設備(切割機、研磨機、拋光機);測試設備(硬度計、金相設備、顯微鏡等)。新材料事業(yè)部與多所高校和研究所展開緊密合作,可提供多種陶瓷、薄膜、晶體的制備工藝及成套設備,在碳材料方面可提供石墨烯、碳纖維、碳納米管及氣凝膠燒結(jié)的整套解決方案。我們開發(fā)的成套設備有:機械剝離法石墨烯粉體生產(chǎn)線、石墨烯薄膜卷對卷連續(xù)制備系統(tǒng)、碳纖維規(guī)模生產(chǎn)線、碳納米管連續(xù)制備裝置、大尺寸氣凝膠燒結(jié)設備等。新能源事業(yè)部是在國家清潔能源與可再生能源發(fā)展戰(zhàn)略背景下,圍繞國家能源“十三五規(guī)劃”中的太陽能、風能以及分布式儲能等系統(tǒng)中傳熱、儲熱熔鹽系統(tǒng)的需求成立的,專門針對熔鹽在傳熱儲能等應用中的關鍵問題,為客戶提供優(yōu)質(zhì)的熔鹽化學化工技術與設備的專業(yè)提供商、服務商和集成商。長期與中國科學院上海應用物理研究所,中國科學院上海有機化學研究所,中國工程物理研究院材料所等研究院所合作,開發(fā)設計了一系列高溫熔鹽熔融設備、熔鹽存儲轉(zhuǎn)運設備、熔鹽電解精煉系統(tǒng)、熔鹽關鍵物性檢測設備等高溫熔鹽相關設備與系統(tǒng),成功解決了熔鹽熔融制備、凈化存儲、分析檢測、傳熱儲能等應用中的諸多關鍵技術問題。公司擁有多名高級顧問,均來自國內(nèi)外頂級科研單位和高等學府,其中研究員3人,博士5人,碩士5人,他們長期從事化工機械、先進材料、新型熔鹽等方面的研究,為公司的發(fā)展有效的提供了智力支持和技術保障。公司坐落在上海市嘉定工業(yè)園區(qū),占地面積超10畝,交通便利,沈海高速朱橋出口即到。“致力創(chuàng)新、助力科研”,我們愿為新材料、新能源的發(fā)展做出我們一點微薄的貢獻。“煜耀東方、志在千里”,上海煜志機電設備有限公司全體員工期待您的光臨!
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