
您的位置:首頁 > 產(chǎn)品展廳 > 儀器儀表 > 實驗儀器裝置 > 其他實驗儀器裝置 > 1200℃高真空PECVD系統(tǒng)
PECVD工藝中由于等離子體中高速運動的電子撞擊到中性的反應氣體分子,就會使中性反應氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應;借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜;具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點;
1200℃高真空PECVD系統(tǒng)通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫,配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度;同時通過多路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。 主要應用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。
二、主要技術參數(shù):
爐體結(jié)構(gòu) | 整機采用SUS304不銹鋼材質(zhì),流線型外觀,斷熱式結(jié)構(gòu); 日本技術真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好 爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩(wěn) 爐子可以手動從一端滑向另一端,實現(xiàn)快速的加熱和冷卻 爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料 |
電源 | 電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4KW |
爐管 | 高純石英管,高溫下化學穩(wěn)定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小 尺寸:Φ60*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空 一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐 包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,表面負荷高、經(jīng)久耐用 加熱區(qū)長度:300mm 恒溫區(qū)長度:150mm 工作溫度:≤1150℃ 最高溫度:1200℃ 升溫速率:10℃/min |
溫控系統(tǒng) | 日本富士溫控儀表,64段控溫程序,可分步、分段
|
混氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計:數(shù)字顯示、氣體流量自動控制 內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量 流量規(guī)格:0~200sccm 流量精度:±1.5% |
高真空真空系統(tǒng) | 采用雙級旋片真空泵+分子泵,極限真空可達4.0*10^-4Pa 復合真空計,配置電阻規(guī)+電離規(guī) 抽速:110L/S 冷卻:風冷 電源:AC220V 50/60Hz |
射頻電源系統(tǒng) | 輸出功率:0-300W 功率穩(wěn)定度:±0.1% 射頻電源頻率:13.56MHz 穩(wěn)定性±0.005% 最大反向功率:120W 射頻電源電子輸出端口:UHF 冷卻:風冷 電源:AC187-253V 50/60Hz |
可選配件 | 混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀。 |
① 凡本網(wǎng)注明"來源:易推廣"的所有作品,版權均屬于易推廣,未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用。已獲本網(wǎng)授權的作品,應在授權范圍內(nèi)
使用,并注明"來源:易推廣"。違者本網(wǎng)將追究相關法律責任。② 本網(wǎng)凡注明"來源:xxx(非本網(wǎng))"的作品,均轉(zhuǎn)載自其它媒體,轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責,且不承擔此 類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。如其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)下載使用 ,必須保留本網(wǎng)注明的"稿件來源",并自負版權等法律責任。
③ 如涉及作品內(nèi)容、版權等問題,請在作品發(fā)表之日起兩周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關權利。
④易推廣頁面顯示產(chǎn)品信息均由企業(yè)自主發(fā)布,信息內(nèi)容真實性、準確性與合法性由相關企業(yè)負責,易推廣對此不承擔任何責任,如遇非法或侵權信息歡迎監(jiān)督,請聯(lián)系QQ:1273397930或者發(fā)郵件至:1273397930@qq.com,如有確實證件證明屬實,本站將對其刪除處理,謝謝!
⑤ 本信息由注冊會員:上海煜志機電設備有限公司發(fā)布并且負責版權等法律責任。
易推廣客服微信