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過程氣體分析儀HPR-30

過程氣體分析儀

  • 價 格： 電議
  • 型號：HPR-30
  • 生 產(chǎn) 地：英國Hiden公司
  • 訪問：658次
  • 發(fā)布日期：2009/11/2(更新日期：1900/1/1)

北京英格海德分析技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品展示

HPR-30過程氣體分析系統(tǒng)(Process Gas Analyser)，適用于監(jiān)測分析殘余氣體和真空過程。可檢測反應(yīng)室內(nèi)存在的所有成分，以及系統(tǒng)析出的新組分。
  • 詳細內(nèi)容
  • 公司簡介
應(yīng)用：
· CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
· 真空涂覆/ 等離子蝕刻
· 濺射沉積
· 污染物研究
· 基本壓力辨別
· 泄漏探測/ 實質(zhì)上的泄漏/脫附分析
· 除氣/烘烤/泵效能
· 反應(yīng)室/過程氣體污染物

特點：
· 簡潔的桌上型，移動推車或控制臺架結(jié)構(gòu)
· Direct re-entrant流孔板，差式泵，以達到最適宜的靈敏度
· 連續(xù)取樣從1mbar至 10-4mbar.
· 高靈敏度（至5ppb），質(zhì)量數(shù)至1000amu
· 軟離子化技術(shù)，分析復(fù)雜有機物，或表觀MS研究
· 穩(wěn)定性好(24h之上，峰高變化小于±0.5%)
· MASsoft軟件控制，或由局域網(wǎng)進行多個系統(tǒng)控制
· 氣動閥自動控制；出現(xiàn)電力不足或壓力過大等不安全狀況時可啟用手動隔離裝置
· 自動、同時數(shù)據(jù)取得、分析，實時顯示、報警



北京英格海德分析技術(shù)有限公司（Beijing Hiden Analytical Technology Ltd.)是世界著名的質(zhì)譜儀制造者－－英國海德公司（Hiden Analytical Ltd.）在中國地區(qū)的總代理。
多年來，我們在客戶中建立了良好的聲譽。我們的客戶多數(shù)都是來自新技術(shù)研究的前沿，如等離子體、表面科學(xué)。我們與他們保持著密切的、積極的關(guān)系。
我們無與倫比的重量法吸附儀是其精湛技術(shù)的完美體現(xiàn)，為全球有關(guān)領(lǐng)域的研究者提供了最先進的技術(shù)手段，使其研究水平居于國際領(lǐng)先地位。
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