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HPR-30過程氣體分析系統(tǒng)(Process Gas Analyser)，適用于監(jiān)測分析殘余氣體和真空過程�？蓹z測反應(yīng)室內(nèi)存在的所有成分，以及系統(tǒng)析出的新組分。
HIDEN HMT 100－RC 高壓殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀(High Pressure Residual Gas Analyser)，獨(dú)特的雙重模式RGA系統(tǒng)，檢測已存在的、或生產(chǎn)過程中形成的氣體。
EQS 是差式泵式二次離子質(zhì)譜（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子。采用最新技術(shù)的
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