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HPR-30過(guò)程氣體分析系統(tǒng)(Process Gas Analyser)，適用于監(jiān)測(cè)分析殘余氣體和真空過(guò)程�？蓹z測(cè)反應(yīng)室內(nèi)存在的所有成分，以及系統(tǒng)析出的新組分。
HPR-80是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導(dǎo)體、真空過(guò)程研究而設(shè)計(jì)的儀器�？煽焖�、定量分析活潑性、腐蝕性氣體混合物。
HIDEN HMT 100－RC 高壓殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀(High Pressure Residual Gas Analyser)，獨(dú)特的雙重模式RGA系統(tǒng)，檢測(cè)已存在的、或生產(chǎn)過(guò)程中形成的氣體。
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