
您的位置:首頁 > 技術文獻 > 解決方案 > 超純水顆粒計數器在線檢測清洗晶圓后水質
1、檢測背景:在微電子和半導體行業(yè)的生產過程中,晶圓的清洗過程對于產品的性能至關重要。超純水,作為這一過程中不可或缺的一環(huán),其純凈度直接影響到晶圓的品質。為了確保超純水的質量,我們引入了先進的超純水顆粒計數器,進行在線檢測,確保清洗晶圓后的水質達到高標準。
2、檢測儀器:超純水顆粒計數器,如同一位精密的守護者,實時監(jiān)測著水流中的微小顆粒。它的工作原理利用激光發(fā)光器穿透流經流通池的水粒子,激光光束被遮擋,運用電壓信號的強弱來轉換為粒子的大小和數量,使那些肉眼難以察覺的顆粒無所遁形。這些顆粒,雖然微小,但足以對晶圓的制造造成致命的打擊,影響整個芯片的性能。
3、檢測步驟: 在線檢測意味著我們可以在水流通過晶圓清洗設備的瞬間,立即獲取水質數據。這種即時的反饋,使我們能夠迅速調整清洗參數,確保每一滴超純水都達到佳的清潔效果。
4、檢測效果:清洗晶圓后的水質,經過超純水顆粒計數器的嚴格把關,達到了所未有的純凈度。這不僅提升了晶圓的品質,也為整個微電子和半導體行業(yè)的發(fā)展奠定了堅實的基礎。我們堅信,只有對每一個細節(jié)都嚴格把控,才能打造出真正優(yōu)質的產品,贏得客戶的信任和市場的認可。
關鍵詞:顆粒計數器
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