隨著高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，各種工藝對(duì)使用產(chǎn)品的技術(shù)要求越來(lái)越高，等離子表面處理技術(shù)的出現(xiàn)，不僅改進(jìn)了產(chǎn)品性能、提高了生產(chǎn)效率，更實(shí)現(xiàn)了安全環(huán)保效應(yīng)。等離子表面處理技術(shù)能夠在材料科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)藥材料學(xué)、微流體研究、微電子機(jī)械系統(tǒng)研究、光學(xué)、顯微術(shù)和牙科醫(yī)療等領(lǐng)域得到應(yīng)用。正是這種廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和巨大的發(fā)展空間使等離子表面處理技術(shù)迅速在國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家發(fā)展起來(lái)，根據(jù)調(diào)查數(shù)據(jù)顯示：全球等離子表面處理設(shè)備總產(chǎn)值在2008年已達(dá)到3000億人民幣。然而我們不得不沉思是什么原因使等離子表面處理技術(shù)在短短的20幾年中發(fā)展的如此迅速。

 

（一）   等離子表面處理技術(shù)原理及應(yīng)用

 

等離子，即物質(zhì)的第四態(tài)，是由部分電子被剝奪后的原子以及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣狀物質(zhì)。這種電離氣體是由原子，分子，原子團(tuán)，離子，電子組成。其作用在物體表面可以實(shí)現(xiàn)物體的超潔凈清洗、物體表面活化、蝕刻 、精整以及等離子表面涂覆。

根據(jù)等離子體中存在微粒的不同，其具體可以實(shí)現(xiàn)對(duì)物體處理的原理也各不相同，加之輸入氣體以及控制功率的不同，都實(shí)現(xiàn)了對(duì)物體處理的多樣化。

因低溫等離子體對(duì)物體表面處理的強(qiáng)度小于高溫等離子體，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)處理物體表面的保護(hù)作用，應(yīng)用中我們使用的多為低溫等離子體。并且各種粒子在對(duì)物體處理過(guò)程中所表現(xiàn)出來(lái)的作用也個(gè)不相同的，原子團(tuán)（自由基）主要是實(shí)現(xiàn)對(duì)物體表面化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中能量傳遞的“活化”作用；電子對(duì)物體表面作用主要包括兩方面：一方面是對(duì)物體表面的撞擊作用，另一方面是通過(guò)大量的電子撞擊引起化學(xué)反應(yīng)；離子通過(guò)濺射現(xiàn)象實(shí)現(xiàn)對(duì)物體表面的處理；紫外線(xiàn)通過(guò)光能使物體表面的分子鍵斷裂分解，并且增強(qiáng)穿透能力。

 

（二）   等離子表面處理技術(shù)的優(yōu)勢(shì)

等離子表面處理技術(shù)是干式處理法，替代了傳統(tǒng)的濕法處理技術(shù)具有以下優(yōu)勢(shì)：

1.      環(huán)保技術(shù)：等離子體作用過(guò)程是氣固相干式反應(yīng)，不消耗水資源、無(wú)須添加化學(xué)藥劑

2.      效率高：整個(gè)工藝能在較短的時(shí)間內(nèi)完成

3.      成本低：裝置簡(jiǎn)單，容易操作維修，少量氣體代替了昂貴的清洗液，同時(shí)也無(wú)處理廢液成本

4.      處理更精細(xì)：能夠深入微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部并完成清洗任務(wù)

5.      適用性廣：等離子表面處理技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)大多數(shù)固態(tài)物質(zhì)的處理，因此應(yīng)用的領(lǐng)域非常廣泛

（三）   等離子表面處理技術(shù)前景

隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，特別是通信產(chǎn)品、電腦及部件、半導(dǎo)體、液晶及光電子產(chǎn)品對(duì)超精密工業(yè)清洗設(shè)備和高附加值設(shè)備的比例要求逐步增大，等離子表面處理設(shè)備已經(jīng)成為很多電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)設(shè)備。并且隨著行業(yè)技術(shù)要求的不斷提高，等離子清洗技術(shù)將在國(guó)內(nèi)有更加廣闊的發(fā)展空間。

隨著汽車(chē)行業(yè)的高速發(fā)展，國(guó)外的很多生產(chǎn)廠家把目標(biāo)所向中國(guó)市場(chǎng)，加之很多零配件的生產(chǎn)廠家也入住中國(guó)，這些都對(duì)清洗提出了新的技術(shù)要求，可以說(shuō)等離子清洗技術(shù)更加適應(yīng)了汽車(chē)行業(yè)的發(fā)展。

醫(yī)療器械使用前的處理工藝非常精細(xì)，使用氟里昂清洗不但浪費(fèi)資源而且成本也非常的昂貴，而等離子表面處理技術(shù)的使用避免了使用化學(xué)物質(zhì)的弊端，而且也更加適應(yīng)了現(xiàn)代醫(yī)療科技的技術(shù)要求。

光學(xué)器件和一些光學(xué)產(chǎn)品對(duì)清洗的技術(shù)要求非常高，等離子表面處理技術(shù)在此領(lǐng)域可以得到更加廣泛的運(yùn)用。

等離子表面處理技術(shù)能夠應(yīng)用的行業(yè)非常廣泛，對(duì)物體的處理不單純的是清洗，同時(shí)可以進(jìn)行刻蝕、和灰化以及表面活化和涂鍍。因此就決定了等離子表面處理技術(shù)必將有廣泛的發(fā)展?jié)摿�。也�?huì)成為科研院所、醫(yī)療機(jī)構(gòu)、生產(chǎn)加工企業(yè)越來(lái)越推崇的處理工藝。