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本產(chǎn)品適用：2英寸--4英寸園片勻膠 1、 同時(shí)做2個(gè)基片，生產(chǎn)效率高。 2、 采用PLC控制、可設(shè)定工藝程序，使用簡(jiǎn)便。 3、 滴膠量可控0-38ml，生產(chǎn)成本低。維修、調(diào)試很方便。 4、 轉(zhuǎn)速范圍寬、精度高；加速度高。 5、 有去邊沿膠和背面清洗功能（選件）。 6、 有防漏滴設(shè)計(jì)，有吹氮等功能（選件）。 勻膠片內(nèi)一致性好、片間一致性好。 該設(shè)備是硅片等園片涂膠的理想設(shè)備。
半自動(dòng)勻膠機(jī) 自動(dòng)勻膠機(jī) 勻膠機(jī)
勻膠機(jī)/涂膠機(jī) 腐蝕清洗機(jī) 清洗甩干機(jī) 熱板爐烘烤 劃片機(jī) 顯影機(jī) 半自動(dòng)晶片處理系統(tǒng)
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H52-8-SV1/ZF全自動(dòng)勻膠機(jī)主要用于半導(dǎo)體及集成電路生產(chǎn)線中晶片處理的勻膠（也稱涂膠）
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