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全自動勻膠機(jī)H52-8/ZF

全自動勻膠機(jī)

  • 價 格: 電議
  • 型號:H52-8/ZF
  • 生 產(chǎn) 地:西安捷盛電子技術(shù)有限責(zé)任公司
  • 訪問:1347次
  • 發(fā)布日期:2009/11/2(更新日期:1900/1/1)

捷盛電子技術(shù)有限責(zé)任公司

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H52-8/ZF全自動勻膠機(jī):用于半導(dǎo)體及集成電路生產(chǎn)線中晶片前道工序處理系統(tǒng):勻膠(也稱涂膠、甩膠機(jī))
  • 詳細(xì)內(nèi)容
  • 公司簡介

H52-8/ZF全自動勻膠機(jī)

SO系列晶片處理系統(tǒng)片盒到片盒的全自動工作方式工藝工步:送片盒→涂膠顯影到→ 熱板烘烤→收片盒托盤傳送方式,無污染、安全可靠液晶顯示界面,具有編程、運(yùn)行、服務(wù)等功能具有完善的故障診斷和自診斷功能 PWM伺服調(diào)速系統(tǒng)調(diào)速,轉(zhuǎn)速范圍,加速度高顯影時間可控、壓力可調(diào)滴膠量可控有防碎片措施真空輔助熱板烘烤具有邊緣去膠和硅片背面清洗功能(可選件)具有顯影時防漏滴設(shè)計,徹底消除漏滴具有清洗、吹氮等功能(可選件)

H52-8/ZF全自動勻膠機(jī)主要技術(shù)規(guī)格:

1、晶片尺寸:3˝ 或4˝

2、轉(zhuǎn)速:200~8000RPM(轉(zhuǎn)/分),精度±10RPM 增量:1RPM

3、最大加速度:40000RPM/s(只對涂膠機(jī)

4、熱板溫度:60~300℃精度:±1.5℃

5、顯影液溫度控制:5℃~50℃,精度±1.5℃

6、高壓噴洗壓力:6.6~20.4Mpa

7、工藝時間參數(shù)設(shè)定:0~999.9秒,增量0.1秒

8、可靠性:MTBF》150h  MTTR《2h

9、外形尺寸(L×B×H):1530mm×385mm×1120mm

10、重量:~500公斤 11、電源條件:220Vac±10、50Hz

12、供氮?dú)鈼l件:0.4Mpa,純度99.99%,外接外徑為Φ6mm,內(nèi)徑為Φ4mm氮?dú)夤?

13、供氣空條件:     總抽氣量120m3/min,真空度為-0.085Mpa,     外接管徑為:外徑Φ6mm 、內(nèi)徑Φ4mm

14 、排氣:抽氣量2.83m3/min,最小壓強(qiáng)124Pa,排氣管徑為Φ100mm蛇形管

15、以上11~14為單機(jī)所需條

相關(guān)詞:勻膠機(jī);勻膠臺

相關(guān)產(chǎn)品鏈接:H52-8/ZF全自動勻膠機(jī)

勻膠機(jī)/涂膠機(jī)  腐蝕清洗機(jī)  清洗甩干機(jī)    熱板爐烘烤  劃片機(jī)  顯影機(jī)  半自動晶片處理系統(tǒng)


捷盛電子技術(shù)有限責(zé)任公司是由西北機(jī)器廠等多家法人投資,西北機(jī)器廠職工持股的高科技公司,位于西安高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū),公司依托西安的科技和人才優(yōu)勢,依靠開發(fā)區(qū)獨(dú)特的環(huán)境和西部大開發(fā)的宏偉戰(zhàn)略,致力于環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、微電子、半導(dǎo)體設(shè)備、電子專用設(shè)備等高科技成果的研究、生產(chǎn)、銷售。公司現(xiàn)已發(fā)展為擁有微電子公司和環(huán)試廠兩個子公司,擁有員工120余人,并控股西安捷運(yùn)科技有限責(zé)任公司。擁有西安和西北機(jī)器廠兩個生產(chǎn)品基地 。 服務(wù)信念---用戶的需求,就是我們的責(zé)任 安裝調(diào)試---設(shè)備到達(dá)后通知我們,我們將派工程師現(xiàn)場 調(diào)試,免調(diào)試費(fèi);并對用戶進(jìn)行現(xiàn)場培訓(xùn) 產(chǎn)品驗(yàn)收---按照國家標(biāo)準(zhǔn),委托國家計量單位計量驗(yàn) 質(zhì)量保證---產(chǎn)品從用戶驗(yàn)收合格之日起有一年質(zhì)保期 保修承諾---保修期從驗(yàn)收合格之日起12個月;保修期內(nèi)正常出現(xiàn)故障,我們及時給予修復(fù);保修期滿以優(yōu)惠價格提供終身服務(wù),保證服務(wù)質(zhì)量。
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