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日立掃描電子顯微鏡S-3400N型具有最新開發(fā)的電子光學系統(tǒng)，強大的自動化功能，操作更簡易。
一、日立掃描電子顯微鏡S-3400N型的特點
1. S-3400N具有強大的自動功能，包括自動燈絲飽和、4偏壓、自動槍對中、自動束流設定、自動合軸自動聚焦和消像散、自動亮度對比度等。
2. 在3kV低加速電壓時保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達臺，傾斜角度可達-20度~+90度，樣品最高可達80mm。
5. 分析樣品倉可以同時安裝EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈、高效。
二、日立掃描電子顯微鏡S-3400N型的技術指標
| 項目 | 描述 | |
| SE分辨率 | 3.0nm (30kV)，高真空模式 | |
| BSE分辨率 | 4.0nm (30kV)，低真空模式 | |
| 放大倍率 | x5 ~ x300,000 | |
| 加速電壓 | 0.3 ~ 30 kV | |
| 低真空范圍 | 6 ~ 270 Pa | |
| 最大樣品尺寸 | 直徑200mm | |
| 樣品臺 | I型 | II型 |
| X | 0 ~ 80mm | 0 ~ 100mm |
| Y | 0 ~ 40mm | 0 ~ 50mm |
| Z | 5 ~ 35mm | 5 ~ 65mm |
| R | 360º | 360º |
| T | -20º~ +90º | -20º ~ +90º |
| 最大樣品高度 | 35mm (WD=10mm) | 80mm (WD=10mm) |
| 驅動類型 | 手動 | 五軸馬達驅動 |
| 燈絲 | 預對中鎢燈絲 | |
| 物鏡光欄 | 可移動式4孔物鏡光欄 | |
| 槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏 | |
| 檢測器 | 二次電子檢測器 | |
| 分析位置 | WD=10mm, TOA=35o | |
| 控制 | 鼠標、鍵盤，手動旋鈕 | |
| 自動調校 | 自動燈絲飽和、自動4偏壓、自動槍對中、自動束流設定、自動合軸、自動聚焦消像散、自動亮度對比度 | |
產品介紹：
Regulus8100是日立冷場發(fā)射掃描電鏡的全新系列，Regulus8100保留了SU8010易維護、易操作等優(yōu)點，進一步提高性能，1kV減速模式下最高分辨率達到了1.1nm，15
研究超大，超重，超高樣品的分析型掃描電鏡
●最大可載樣品直徑達300mm
●最大觀察區(qū)域直徑達203mm
●在觀察110mm高樣品時可進行能譜分析
●樣品室設置多種接口
報告生成簡單化 儀器支持輸出Microsoft公司發(fā)行的Word®、Excel®、PowerPoint®格式，預置圖像插入模板，生成報告非常簡單。 2．可根據觀察目的設
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