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超高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F是日本電子株式會(huì)社2008年下半年推出的兼顧冷場的高分辨率和熱場大束流為一體的熱場發(fā)射掃描電鏡，它幾乎集成了當(dāng)今掃描電鏡的全部前沿技術(shù)，最大200nA的大電流在保證高分辨率的同時(shí)，得到高速樣品分析結(jié)果，空間分辨率極高，對導(dǎo)電性差的樣品也有很多解決辦法。JSM-7600F自動(dòng)化程度高，操作直觀方便，可以稱得上是一款高檔次的場發(fā)射掃描電鏡。
超高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F主要特點(diǎn)
1.主動(dòng)式減震器
2.最先進(jìn)的磁懸浮分子泵系統(tǒng)，無需UPS保護(hù)
3.標(biāo)配的五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全對中樣品臺(tái)
4.全自動(dòng)樣品更換氣鎖
5.全自動(dòng)樣品監(jiān)控系統(tǒng)
6.全自動(dòng)物鏡光闌
7.多通道顯示系統(tǒng)
8.減速系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置
9.能量過濾器標(biāo)準(zhǔn)配置
10.可以選配1.5nm高分辨LABE背散射電子探頭
11.可以選配掃描投射探頭（STEM）
超高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F技術(shù)參數(shù)
| SEI 分辨率 | 1.5 nm（1 kV）（在GB 模式下），1.0 nm（15 kV） | ||||||||||||||||||||
| 放大倍數(shù) | 25 到 1,000,000x | ||||||||||||||||||||
| 加速電壓 | 0.1 到 30 kV | ||||||||||||||||||||
| 束流 | 1 pA 到 200 nA（15 kV時(shí)） | ||||||||||||||||||||
| 光闌角控制鏡 | 內(nèi)置 | ||||||||||||||||||||
| 探測器 | 上方和下方探測器 | ||||||||||||||||||||
| 能量過濾器 | 新型γ過濾器 | ||||||||||||||||||||
| 柔和光束 | 內(nèi)置 | ||||||||||||||||||||
| 數(shù)字圖像 | 1,280 x 960，2,560 x 1，920, 5,120 x 3,840 | ||||||||||||||||||||
| 樣品交換室 | 單步加載/卸載 | ||||||||||||||||||||
| 樣品臺(tái) | 全對中，5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | ||||||||||||||||||||
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| 真空系統(tǒng) | 2 SIPs，磁懸浮軸承 TMP、RP | ||||||||||||||||||||
| 節(jié)能設(shè)計(jì) | 正常運(yùn)行：1.2 kVA | ||||||||||||||||||||
產(chǎn)品介紹：
Regulus8100是日立冷場發(fā)射掃描電鏡的全新系列，Regulus8100保留了SU8010易維護(hù)、易操作等優(yōu)點(diǎn)，進(jìn)一步提高性能，1kV減速模式下最高分辨率達(dá)到了1.1nm，15
研究超大，超重，超高樣品的分析型掃描電鏡
●最大可載樣品直徑達(dá)300mm
●最大觀察區(qū)域直徑達(dá)203mm
●在觀察110mm高樣品時(shí)可進(jìn)行能譜分析
●樣品室設(shè)置多種接口
報(bào)告生成簡單化 儀器支持輸出Microsoft公司發(fā)行的Word®、Excel®、PowerPoint®格式，預(yù)置圖像插入模板，生成報(bào)告非常簡單。 2．可根據(jù)觀察目的設(shè)
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