HPS系列的925 micropirani™傳感器是一種基于MEMS. 925 獨特的，基于MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器。925是用于真空壓力測量并提供模擬電壓輸出，數(shù)字接口和設(shè)定點繼電器.用于過程控制。

美國MKS真空計   MKS 925系列皮拉尼真空計優(yōu)勢：

•增加壓力測量范圍從10-5乇大氣，在一個標(biāo)準(zhǔn)的皮拉尼

• Three set point relays for process control (option)

•三點繼電器用于過程控制（選項）

• Ultra compact design

•超緊湊的設(shè)計

• High accuracy for improved process control

•改進(jìn)過程控制的高精度

• Ease of operation via analog output ａnd digital communication (RS232 or RS485)

通過模擬輸出和數(shù)字通信（RS232或RS485易于操作•）

• MicroPiraniTM solid state sensor is resistant to damage from air inrush or vibration

•micropiranitm固態(tài)傳感器是從耐空氣侵入或振動的損傷

• Mountable in any orientation for ease of installation; no loss of measurement accuracy

•安裝在任何方向，安裝方便；沒有損失的測量精度

• Optional display available for local pressure indication

•可選顯示可用的局部壓力指示

• Alternate analog output ａnd electrical connectors available to match other vendors’

•交替的模擬輸出和電連接器可與其他廠商，方便容易升級

• CE marked, compliant with EMC Directive 2004/108/EEC

•CE標(biāo)志，符合EMC指令2004／108／EEC

美國MKS真空計   MKS 925系列皮拉尼真空計應(yīng)用：

925可以用在許多不同的真空應(yīng)用在半導(dǎo)體的分析，

and coating industries:

涂料行業(yè)：

• General vacuum pressure measurement

•一般真空壓力測量

• Foreline ａnd roughing pressure measurement

•前級和粗壓力測量

• Gas backfilling measurement ａnd control

•氣體充填的測量與控制

• Mass spectrometer control

•質(zhì)譜儀控制

• Activation of UHV gauges

•激活真空計

• System process control

•系統(tǒng)過程控制

• Control system pressure

•壓力控制系統(tǒng)