MKS系列902b壓電換能器結(jié)合了基于MEMS技術(shù)的壓電傳感器和金屬密封壓力測量技術(shù)316不銹鋼膜片和集成電子學。該902b提供經(jīng)濟，絕對壓力測量是獨立的氣體的類型。用測量范圍為0.1到1000乇滿刻度，該傳感器是一個廣泛的應(yīng)用范圍，包括半導體制造，薄膜涂層，冷凍干燥，分析儀器，醫(yī)療設(shè)備，汽車和航空航天。

美國MKS真空計  MKS 902系列壓電絕對壓力真空計優(yōu)勢：

0.1至1000乇的全面•測量范圍

• Low cost transducer alternative to more expensive conventional transducers

•低成本傳感器替代更昂貴的傳統(tǒng)傳感器

• Gas independent pressure measurement for accurate, total pressure measurement

•氣體獨立的壓力測量準確，總壓測量

• Sensor is suitable for harsh processes due to robust design ａnd stainless steel construction

•傳感器，適用于惡劣的過程由于強大的設(shè)計和不銹鋼結(jié)構(gòu)

• Solid state Piezo sensor resistant to damage from air inrush ａnd vibrations

•固態(tài)壓電傳感器的抗空氣涌流和振動損傷

• Compact system design with integrated electronics ａnd sensor in one unit

•緊湊的系統(tǒng)設(shè)計與集成電子在一個單元中的傳感器

• Mountable in any orientation for ease of installation

•安裝在任何方向，安裝方便

• Reduced process cycle time due to sensor’s fast, accurate ａnd repeatable pressure measurements

•過程的周期時間減少由于傳感器的快速，準確和可重復的壓力測量

• Ease of operation with both analog output ａnd digital communication

兩個模擬輸出和數(shù)字通信操作•緩解

• Multiple analog output emulations available

多個模擬量輸出的仿真提供•

• Process control from up to three set point relays with fast response time

•過程控制從三點繼電器具有快速響應(yīng)時間

• Display version available

•顯示版本

• CE marked, compliant with EMC Directive 2004/108/EEC ａnd RoHS

•CE標志，符合EMC指令2004／108／EEC指令

美國MKS真空計  MKS 902系列壓電絕對壓力真空計應(yīng)用：

902b適合無菌環(huán)境因為暴露在真空中唯一的材料是不銹鋼316。這包括冷凍干燥過程和等離子體滅菌醫(yī)療設(shè)備。該902b具有極高的性能價格比，使它更昂貴的傳統(tǒng)傳感器的一個很好的選擇，尤其是在應(yīng)用中的測量精度最高的是不需要的。這包括真空包裝在食品工業(yè)和真空爐。該902b能抵御惡劣的環(huán)境，重力和機械振動。這是一個一般的前級真空測量應(yīng)用的很好的候選人。數(shù)字通信接口，輸出模擬仿真，三點的選擇和緊湊的設(shè)計使得902b通用傳感器，易于集成在大多數(shù)的真空系統(tǒng)。