微型儀器技術(shù)的介紹

　　微型智能儀器將在21世紀(jì)儀器發(fā)展中占有重要的地位，各種微型智能儀器都將發(fā)揮重要的作用。微型智能儀器可把不同的微型機(jī)械電子系統(tǒng)（MEMS）組裝在一起。它既有固定部件，又有活動(dòng)部件，并向微芯片的集成化方向發(fā)展;既可以是專用儀器，又可以是通用儀器;可以是分系統(tǒng)的組合，也可是單獨(dú)的系統(tǒng)�？蛇M(jìn)行模塊化的組合，根據(jù)不同的用途完成不同的使用要求。微型智能儀器有著極其廣闊的應(yīng)用前景，是MEMS技術(shù)發(fā)展的重要方向之一。

　　納米測(cè)量技術(shù)指尺度為0.01 nm～100 nm的測(cè)量技術(shù)。在納米技術(shù)中，納米測(cè)量技術(shù)、納米加工技術(shù)和納米結(jié)構(gòu)并列為納米技術(shù)的三大研究主題。納米測(cè)量技術(shù)的研究是納米技術(shù)研究的重要組成部分。

　　1　納米測(cè)量技術(shù)

　　納米測(cè)量技術(shù)涉及傳感器技術(shù)、探針技術(shù)、定位技術(shù)、掃描探針顯微鏡（SPM）技術(shù)等。

　　2　傳感器技術(shù)

　　無論何種納米測(cè)量技術(shù)都必須依靠傳感器。目前進(jìn)行納米測(cè)量的傳感器主要分為電感傳感器、電容傳感器、光干涉?zhèn)鞲衅魅�類�?/p>

　　在高精度測(cè)量中，電感傳感器應(yīng)用最廣。一般電感傳感器有線性差動(dòng)變壓器（LVDT）和線性差動(dòng)電感器（LVDI），兩種形式，它們都是當(dāng)鐵磁線圈的位置變化引起磁場(chǎng)的變化，通過測(cè)量磁場(chǎng)變化達(dá)到測(cè)量位移的目的。

　　電容位移傳感器采用平行極板之間的電容變化來反映兩極板距離變化，從而達(dá)到測(cè)微目的。電容傳感器靈敏度很高，并可進(jìn)行非接觸測(cè)量，成為納米測(cè)量中重要的傳感器。

　　光學(xué)位移傳感器測(cè)量的基本原理都是邁克爾遜干涉儀。干涉條紋的寬度為0.5，約0.2m。通過細(xì)分達(dá)到納米分辨率。