蒸餾水是蒸餾水,去離子水是去離子水,兩個(gè)不一樣的
從自來水到去離子水一般要經(jīng)過幾步處理
先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質(zhì)
再分別依次通過陰陽離子交換柱去除離子
然后加壓通過反滲透膜
最后一般還要經(jīng)過一步紫外殺菌以去除水中的微生物
假如此時(shí)電阻率還沒有達(dá)到要求的話
可以再進(jìn)行一次離子交換和反滲透過程
而蒸餾水只是先氣化再冷凝
純度一般不如去離子水
實(shí)際半導(dǎo)體工業(yè)中用的大多數(shù)是去離子水