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| 目前世界各國雖有自訂規(guī)格，但普遍還是采用美國聯邦標準209為多，今就209D及209E和世界上其他各國之所訂標準再做更進一步之介紹與相互比較。表1-1為美國聯邦標準209D之潔凈室規(guī)格。 表1-1 美國聯邦標準209D潔凈室規(guī)格 潔凈室級數（Class 微塵粒子 壓力 溫度 風速與換氣率（次/hr 照度lux 粒子大小um 粒子數目Particles/ft 3 mmAg 值域℃ 推薦值℃ 誤差值℃ 最大MAX% 最小MIN% 誤差% 層流方式0.35~0.55 m/s 1080 ~ 1620 1 ≧0.5 ≦1 ＞1.3 19.4~25 22.2 ±2.8 特 殊 需 求 ±1.4 45 30 ±10 特 殊 需 求 ±5 ≧5.0 0 10 ≧0.5 ≦10 ≧5.0 0 100 ≧0.5 ≦100 ≧5.0 ≦1 1000 ≧0.5 ≦1000 亂流方式≧20 次/hr ≧5.0 ≦10 10000 ≧0.5 ≦10000 ≧5.0 ≦65 100000 ≧0.5 ≦100000 ≧5.0 ≦700 至于209E和209D等最大之不同點在于209E表示單位增加了公制單位，即潔凈室等級以“M”字頭表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此類推，其目的在于配合國際公制單位之標準化。M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中≧0.5um之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，而取指數為之；若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間（即非整數，則以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即為1992年9月新頒布之美國聯邦標準209E之內容，前述之M字母后的數字，可從表中0.5um列的數值中求出，讀者可試算之。 表1-2 美國聯邦標準209E 潔凈度等級 微塵粒子 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 5um 單位 單位 單位 單位 單位 公制 英制 m 3 ft 3 m 3 ft 3 m 3 ft 3 m 3 ft 3 m 3 ft 3 M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - - M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - - M2 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - - M2.5 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0 - - M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 - - M3.5 100 - - 26500 750 10600 300 3530 100 - - M4 - - 75700 2140 30900 875 10000 283 - - M4.5 1000 - - - - - - 35300 1000 247 7.00 M5 - - - - - - 100000 2830 618 17.5 M5.5 10000 - - - - - - 353000 10000 2470 70.0 M6 - - - - - - 1000000 28300 6180 175 M6.5 100000 - - - - - - 3530000 100000 24700 700 M7 - - - - - - 10000000 283000 61800 1750 美國聯邦標準FS 209D 都以英制每立方英尺為單位，而日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位；另外209D與日本JIS（B9920-1989）標準中另一不同點為209D是以0.5um之粒子數為計數基準，而日本則以0.1um微粒子為計數標準。日本標準之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等級為Class1,最差則為Class8,表1-3為日本JIS（9920-1989）之標準規(guī)定的粒子上限數（個/m 3 ）。其Class1，Class2...之數目字以0.1um粒子為基準，而以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10之冪次方，取其指數而得。 表1-3 日本JIS（9920 ~1989）標準 粒徑\級數 Class1 Class2 Class3 Class4 Class5 Class6 Class7 Class8 0.1 10 1 10 2 10 3 10 4 10 5 10 6 10 7 10 8 0.2 2 24 236 2，360 23，600 - - - 0.3 1 10 101 1，010 10，100 101，000 1，010，000 10，100，000 0.5 - - 35 350 3，500 35，000 350，000 3，500，000 5.0 - - - - 29 290 2，900 29，000 在德國工業(yè)及醫(yī)學等之多數領域中，潔凈室是為相關產業(yè)界所重視和期望發(fā)展之技術，因此在1967年完成了德國的潔凈室規(guī)格，在德國規(guī)格中潔凈室等級之表示法與美國規(guī)格不同，其表示法是以4＊10”的形式表示粒徑0.5um以上之粒子數，而以其中之指數n規(guī)定等級，如4＊10 3 即表示等級為3，此等級與美國聯邦規(guī)格Class100想近似。表1-4為德國規(guī)格所容許之粒子數與美國、法國、近似等級之表示。 表1-4 德國規(guī)格表 等級 微塵粒徑um 與別國等級比較 0.5 1 5 美國 法國 3 4＊10 3 1＊10 3 - 100 4000 4 4＊10 4 1＊10 4 0.03＊10 4 - - 5 4＊10 5 1＊10 5 0.03＊10 5 10000 400000 6 4＊10 6 1＊10 6 0.03＊10 6 100000 4000000 表1-5為美國聯邦標準209D標準粒子之數目上限值（個/ ft 3 ）（以0.5u粒子為依準）。由于美國與日本之規(guī)格中所表示之單位分類不同，為讓使用人員有一快速之獲知二者之相近標準等級，以期運用于工作上，故有必要將二者之間做一潔凈度級別之換算，如表1-6 表1-5 美國209D規(guī)定粒子數（上限值） 等級 Class1 Class10 Class100 Class1000 Class10，000 Class100，000 0.1 35（1，225） 350（12，250 - - - - 0.2 7.5（263） 75（2，630） 750（26，300） - - - 0.3 3（105） 30（1，050） 300（10，500） - - - 0.5 1（35） 10（350） 100（3，500） 1000（35，000） 10，000（350，000） 100，000（3，500，000） 5.0 - - - 7 70 700 ＊（）內之數值單位：個/M 3 。 表1-6 美日潔凈度級別換算 日本 美國 級別3 Class 1 級別4 Class 10 級別5 Class 100 級別6 Class 1000 級別7 Class 10000 級別8 Class 100000 除了美國、日本、德國、之潔凈室標準外，世界上尚有英國、法國、澳洲及韓國、中國大陸之規(guī)格，表1-6即為世界各國潔凈度等級規(guī)格之比較。 表1-6 世界各國潔凈度等級規(guī)格表 國名 美國 美國 日本 英國 德國 法國 澳洲 韓國 中國大陸 規(guī)格 FS209D FS209E JIS B 9920 BS 5295 VDI 2083 AFN 4410 AS 1386 KS QJ2214 年度 1988 1992 1989 1989 1990 1981 1989 1991 1991 基準粒子um 0.5 0.5 0.1 0.5 1 0.5 0.5 0.3 0.1 0.5 單位 pcs/ft 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3 Class - - 1 - - - - M1 0.1um ~ 1 - M1 2 - 0 - - M10 0.1um ~ 5 1 M1.5 3 C 1 - 0.035 M100 0.1um ~ 10 10 M2.5 4 D 2 - 0.35 M1000 1 100 M3.5 5 E or F 3 4,000 3.5 M10000 100 1000 M4.5 6 G or H 4 - 35 M100,000 1,000 10,000 M5.5 7 I 5 400,000 350 M1,000,000 10,000 100,000 M6.5 8 J 6 4,000,000 3500 M10,000,000 100,000 - M7 - K 7 - - - - - - - L - - - - - ＊以0.5um為區(qū)別。 |
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