什么是電子硫酸？

電子硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純?cè)噭�，是一種微電子技術(shù)發(fā)展過程中不可缺少的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)試劑。

電子硫酸有哪些應(yīng)用？

電子硫酸廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過程，主要用于硅晶片的清洗和蝕刻，可有效除去晶片上的雜質(zhì)顆粒，無機(jī)殘留物和碳沉積物。

為什么要對(duì)電子硫酸進(jìn)行顆粒管控？

電子硫酸的純度和潔凈度對(duì)電子元的件成品率、電性能及可靠性有著重要的影響。電子硫酸是芯片制造工藝中用量大的電子化學(xué)品，主要用于去除晶圓片上殘留的金屬和有機(jī)物雜質(zhì)，質(zhì)量要求高，產(chǎn)品中金屬離子須達(dá)到ppt（ppt=1ng/Kg=10-12）。