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“能和人對話,目前專注的領(lǐng)域是振動分析,當(dāng)然,一般振動分析會結(jié)合溫度檢測應(yīng)用。通過振動分析,可以保證機器的安全性,做預(yù)維護,量產(chǎn)保證以及質(zhì)量監(jiān)控。”
與傳統(tǒng)的壓電傳感器相比,MEMS的振動傳感器有非常多的優(yōu)勢,比如說MEMS可以低頻甚至是直流信號,但壓電的就不行,這是受其設(shè)計原理的限制。再就是耐沖擊的能力;隨著時間和溫度變化,傳感器的穩(wěn)定性;整個測量范圍內(nèi)的線性度;刻度因子的平坦度;物理尺寸;傳感器是否能自檢等等。這些都是MEMS振動傳感器的優(yōu)點。還有最重要的一點就是價格,由于壓電傳感器需要手工制作,既無法保證一致性,又使得其成本很高,很難享受規(guī)模效應(yīng)所帶來的好處,但MEMS振動傳感器是采用的標準半導(dǎo)體工藝,很容易利用規(guī)模效應(yīng)來控制成本,使得其與壓電傳感器相比,有明顯的價格優(yōu)勢。這樣,才能讓所有的機器說話,因為其成本是可接受的。
未來該類傳感器的發(fā)展會是小型化,低功耗,低噪聲,大帶寬和高量程。而且在客戶端會有越來越多的無 線解決方案來替代傳統(tǒng)的有線方案。
關(guān)鍵詞:振動傳感器
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