X熒光光譜儀是一種波長(zhǎng)較短的電磁輻射，通常是指能t范圍在0.1^-100keV的光子。X射線光譜儀與物質(zhì)的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。X射線熒光光譜儀是由物質(zhì)中的組成元素產(chǎn)生的特征輻射，通過側(cè)里和分析樣品產(chǎn)生的x射線熒光，即可獲知樣品中的元家組成，得到物質(zhì)成分的定性和定量信息。特征x射線的產(chǎn)生與特性當(dāng)用高能電子束照射樣品時(shí)，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負(fù)的加速度會(huì)產(chǎn)生寬帶的連續(xù)X射線譜，簡(jiǎn)稱為連續(xù)潛或韌致輻射.另一方面，化學(xué)元素受到高能光子或粒子的照射，如內(nèi)層電子被激發(fā)，則當(dāng)外層電子躍遷時(shí)，就會(huì)放射出特征X射線。特征X射線是一種分離的不連續(xù)譜.如果激發(fā)光源為x射線，則受激產(chǎn)生的x射線稱為二次X射線或X射線熒光。特征x射線顯示了特征x射線光譜儀產(chǎn)生的過程。當(dāng)人射x射線撞擊原子中的電子時(shí)，如光子能量大于原子中的電子束縛能，電子就會(huì)被擊出。這一相互作用過程被稱為光電效應(yīng)，被打出的電子稱為光電子.通過研究光電子或光電效應(yīng)可以獲得關(guān)于原子結(jié)構(gòu)和成鍵狀態(tài)的信息。在這一過程中，如人射光束的能量大得足以擊出外射原子中的內(nèi)層電子，就會(huì)在原子的內(nèi)殼層產(chǎn)生空穴，這時(shí)的原子處于非穩(wěn)態(tài)，層電子會(huì)從高能軌道躍遷到低能軌道來(lái)充填軌道空穴線的形式釋放，原子恢復(fù)到穩(wěn)態(tài).如果空穴在K,L,，多余的能量就會(huì)以xM殼層產(chǎn)生，就會(huì)相應(yīng)產(chǎn)生K,L,M系X射線。光電子出射時(shí)有可能再次激發(fā)出原子中的其他電子，生成的光電子被稱為俄歇電子，產(chǎn)生新的光電子。再次這一過程被稱之為俄歇效應(yīng)一元家受激發(fā)后輻射出的X射線光子的能量等于受激原子中過渡電子在初始能態(tài)和最終能態(tài)的能量差別，即發(fā)射的X射線光子能量與該特定元素的電子能態(tài)差成正比X射線熒光光譜儀是來(lái)源于樣品組成的特征輻射.通過側(cè)定和分析X射線的能量或波長(zhǎng)，即可獲知其為何種元素，故可用來(lái)識(shí)別物質(zhì)組成，定量分析物質(zhì)中的元素含量。