高真空真空泵的具體真空泵己在本站有簡單介紹，本文主要簡述其它高真空泵以對本站高真空泵作為補充：

　　分子泵：機械分子和渦輪分子泵與擴散泵在性能上有許多方面相似。擴散泵中的被抽氣體分子在與蒸汽分子相碰撞過程中得到動能。而分子泵中的被抽氣體分子是靠與快速運動的固體表面碰撞而獲得動能的。
    分子泵有兩類:第一類是有完整的運動表面（不是圓筒就是圓盤），當氣體分子在動表面（轉(zhuǎn)子）和靜表面（定子）間多次反射時，運動表面將它們“踢”向真空泵的排氣口側，第二類，有一系列類似于軸流壓縮機的葉片。每個壓縮級由一個動盤和一個靜盤組成。這后一種結構的一個優(yōu)點是同一表面不會周期性地暴露于高壓強下和低壓強下。
    一般來說，多數(shù)渦輪分子泵的基本性能類似于中、小擴散泵的。關于抽速、抽氣量和壓縮比關系式的許多注釋，對兩者都是適用的。一般真空泵的入口壓強區(qū)域為10-2Torr，特殊結構的真空泵可超出10-2Tory，并能直接向大氣排氣。這樣的真空泵不適于反復迅速排氣，只適于祖抽后的連續(xù)抽氣。
    性能的重要臨界點是最大抽氣量這點。這只取決于從給定系統(tǒng)中抽走的最大氣體量。

　　油噴射泵
    可將油噴射泵看成是增壓擴散泵和蒸汽噴射泵之間的過渡。增壓擴散泵與擴散泵很相似。將增壓擴散泵設計得使其性能曲線平移，這樣，其對應的入口壓強比普通擴散泵的提高大約10倍。它們使用具有較高蒸汽壓的泵工作液，因此其爐鍋壓強和允許前級壓強也相對較高。它們被用于高氣體負荷的應用場合（例如真空冶煉），并且在10-2Torn附近常常有峰值抽速。過去，這種泵也曾做過擴散泵的前級。最近15a期間，由于更有效的擴散泵的發(fā)展和更普遍地采用了機械增壓泵（羅茨泵），因此，對油增壓泵的使用已經(jīng)減少了。
    油噴射泵進一步向高的入口壓強方向發(fā)展。除了有整體加熱器和水冷擴散器（而不是分離冷凝器）外，油噴射泵的外形與蒸汽噴射泵相似。

　　水銀擴散泵
    川水銀作泵工作液可使鍋爐內(nèi)壓強和入口壓強的范圍擴大。小水銀泵的排氣壓強可達50Torr。理論上，排氣壓強甚至可以達到大氣壓。在下列情況下使用水銀擴散泵是有優(yōu)越性的:例如，被抽裝置內(nèi)充滿水銀蒸汽，泵必須處理突然出現(xiàn)的大的氣體負荷;不允許碳氫化合物污染。
    室溫下水銀的蒸汽壓接近1.5x10-3Torr。因此，必須更加仔細地考慮水銀蒸氣的返流和捕集問題。通常，水銀泵與障板、液氮冷阱一起使用。與油擴散泵相比，不能防止在阱表面的迅速聚集。水銀蒸氣不像油蒸氣那樣容易冷凝在水冷的表面上，而且先前的碳氫化合物污染（例如，從前級泵來的）可能妨礙冷凝并導致抽速的降低。水銀蒸氣是有毒的，為避免散落，必須小心地處理水銀蒸氣（尤其在粗糙的混凝土地板上）。另外，機械泵放氣后的抽氣和真空容器在冷阱去霜后，必須有特殊的預防措施。
　　吸附泵（高真空）
    普通表面或多孔材料對氣體的物理吸附或吸收可用來獲得高真空�？梢栽谌我粔簭娤吕�用吸附或吸收技術，但由于實際上的限制，它只作為某種特殊應用，在真空技術中發(fā)展起來。
    為了消除油封機械泵產(chǎn)生的碳氫化合物污染的可能性，吸附泵常用于超高真空系統(tǒng)的粗抽，并且常常與干式（無油）機械泵一起使用。按抽氣步孩依次使用兩臺或三臺吸附泵，可以從真空容器中排走大量的空氣。通過轉(zhuǎn)換到離子一吸氣劑泵抽氣，可以獲得足夠低的壓強而不使其過載。
    利用吸附獲得高真空，其方法可以是通過升溫將吸附氣體物質(zhì)解吸，然后回到室溫，也可以冷卻到低溫。
    商業(yè)用吸附泵通常是為獲得前級真空而設計的。然而，用基本結構類似的泵進行多級抽氣也能獲得高真空，但要有較高的入口流導。
    關于吸附抽氣效應的進一步闡述。氣密封接的器件通常在升溫條件下排氣并封接。冷卻期間，吸附位的數(shù)量要多到足以提供明顯降低壓強的抽氣作用，從而可將壓強降低一個或幾個數(shù)量級。無數(shù)例子說明，凡有大的溫度變化時，在高真空中必然存在吸附效應。例如，高真空爐在石毖加熱元件還熱的情況下使真空爐與泵隔離并切斷電源，只要真空爐密封良好而且殘余氣體能被充分地吸附時將發(fā)生真空爐的高真空維持一夜的情況。