高產量、高亮度的LED生產極具挑戰(zhàn)性。隨著高亮度LED的應用范圍更進一步地擴大，今后高效率及高成品率的設備將會是市場的主流。比如顯示器背光、汽車照明以及普通照明，它們成為化合物半導體技術空前發(fā)展的驅動力。LED的崛起是驅動MOCVD設備生長的原動力。

光學監(jiān)控系統(tǒng)是在GaN外延過程中利用晶片的反射率及溫度提供實時的信息給使用者，這種方法已被廣泛的使用。干燥箱的LED能在生產中對光學原位進行監(jiān)測。

未來系統(tǒng)的發(fā)展以遠程遙控為主，這種監(jiān)控系統(tǒng)一定要與MOCVD系統(tǒng)聯(lián)系起來甚至是做整合。有了這種先進的原位系統(tǒng)實時監(jiān)控，可以在某個生產周期結束時，系統(tǒng)能自動測出外延生長中的所有參數(shù)及分析數(shù)據，包括生長速度，如此可避免一些人為的疏失。實時溫度測量用于估測每塊晶片的均勻性，尤其在未來多片式的量產系統(tǒng)中更需要這種原位監(jiān)測系統(tǒng)，為使用者提供外延生長中晶片的特征參數(shù)。