產(chǎn)品特點
BOC Edwards EXT系列渦輪分子泵可以通過TIC控制器或EXC控制器控制。 TIC控制器將渦輪控制和儀器控制合二為一，使用起來更加方便。OEM或有電源的最終用戶可以使用EXC控制器在自己的系統(tǒng)中控制EXT渦輪，這可以降低成本。另外還具有如下優(yōu)點：無油（渦輪分子泵不產(chǎn)生碳氫化合物污染）；低維護（無軸承接觸，無機械磨損）；低振動（比一般軸承的振動低一個數(shù)量級）；減少冷卻（對許多應(yīng)用來說自然冷卻即可）；定位任意（可以安裝在任意位置）。



技術(shù)指標
入口法蘭 DN40NW, DN50NW, DN63CF or DN63ISO-K
壓縮比
N2 〉1×108
He 6000
H2 500
出口法蘭 DN16NW
前級泵（推薦） E2M0.7
出氣口 ⅛ inch BSP 母
最大連續(xù)入口壓力
15℃水冷 9×10-1 mbar
35℃風(fēng)冷 9×10-2 mbar
30℃自然對流 9 ×10-3 mbar
額定轉(zhuǎn)速 90000 rpm
工作轉(zhuǎn)速 63000 rpm
90%轉(zhuǎn)速啟動時間 90s
冷卻模式 自然對流、風(fēng)冷、水冷
入口法蘭最高溫度 100℃
環(huán)境溫度范圍
自然對流 0-30℃
風(fēng)冷 0-35℃
水溫范圍（水冷） 10-20℃
最小耗水量(15℃) 15 l h-1
工作姿態(tài) 垂直向上
1米噪音 〈50 dB（A）
最大磁場 5 mT
控制器（推薦） EXC100或EXC120
功率 10 W

入口法蘭 DN40NW DN50NW DN63CF DN63ISO-K
抽速 (ls-1)
N2 52 60 65 65
He 53 56 60 60
H2 46 48 50 50
極限真空(mbar) 〈5×10-9 〈5×10-9 〈5×10-10 〈5×10-9
重量 (kg) 1.4 1.4 3.4 1.5