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INCA Wave X射線波譜儀有高分辨率，高靈敏度，高精度，高準(zhǔn)確度和操作簡便的特點，是顯微分析大家族中不可或缺的技術(shù)手段。采用高精度的彎曲晶體分光譜儀系統(tǒng)，由4塊或6塊晶體覆蓋從B到U的全部元素分析，其探測極限可達(dá)幾個PPM。
應(yīng)用：
波長色散顯微分析儀(WDS) 能提供高質(zhì)量的關(guān)于掃描電鏡（SEM）中樣品化學(xué)成分的信息。其譜圖分辨率和檢測極限顯著優(yōu)于能量色散顯微分析儀（EDS）. WDS尤其適合特別需要分辨相鄰X射線譜峰或檢測痕量元素的場合。它同時提供了掃描電鏡（SEM）條件下最精確的定量分析結(jié)果。
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