劃片機 切割機 分切機
J51152/ZF6英寸劃片機主要技術規(guī)格：
硅片最大加工尺寸：Ø152.4mm (6")
x軸 (1)最大行程：200mm (2)工作行程范圍：20~160mm (3)切割速度分兩級： a)進給：0.1~70mm/s 回程：70mm/s b)進給：1~300mm/s 回程：300mm/s
y軸 (1)最大行程: 160mm (2)最小步進距離:0.002mm (3)最大步進距離:30mm/s (4)定位精度:0.003mm
z軸 (1)最大行程19mm(以Ø 50刀盤為準) (2)最小步矩0.002mm
θ軸：手動旋轉：90˚±30"（可微調）
主軸轉速范圍：10,000~40,000r/min (通常在30,000r/min) 功率 400W CCD對準系統(tǒng)設備尺寸mm(寬x深x高)：約906x1020x740
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