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射頻等離子處理儀(等離子刻蝕\清潔\灰化)K1050X

射頻等離子處理儀(等離子刻蝕\清潔\灰化)

  • 價 格： 請電詢025-85432178元
  • 型號：K1050X
  • 生 產(chǎn) 地：英國MITECH
  • 訪問：335次
  • 發(fā)布日期：2009/11/2(更新日期：1900/1/1)

南京覃思科技有限公司

  • 提示：如果您未采購滿意的產(chǎn)品，請在網(wǎng)頁頭部搜索更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品
產(chǎn)品展示

K1050X等離子處理單元由固態(tài)射頻發(fā)生器結(jié)合調(diào)諧電路組成，同時兩種處理氣體流量針閥監(jiān)控，全部或部分通氣口控制。抽屜式抽拉系統(tǒng),固態(tài)射頻等離子處理系統(tǒng),應(yīng)用于SEM/TEM中材料表面刻蝕、微觀灰化、表面改性處理以及清潔處理。
  • 詳細(xì)內(nèi)容
  • 公司簡介
K1050X等離子處理單元由固態(tài)射頻發(fā)生器結(jié)合調(diào)諧電路組成，同時兩種處理氣體流量針閥監(jiān)控，全部或部分通氣口控制。
它的腔室為圓柱形，樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng)，方便使用。
真空系統(tǒng)為旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵或可選用膜片泵作為前級真空的渦輪分子泵。
在真空裝載端口及SEM/TEM中特殊的清潔應(yīng)用時，可方便更換抽屜式抽拉系統(tǒng)。
此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體，氧去除有機(jī)物質(zhì)（碳?xì)浠衔铮�，氬對樣品表面進(jìn)行刻蝕。
 
應(yīng)用：

● 石棉試樣制備
● 有機(jī)材料微觀灰化
● SEM&TEM中有機(jī)樣品刻蝕
● 去除光刻膠及電子元件中的包膠
● 塑料品的表面處理
● SEM/TEM中的樣品夾清洗
 
 
特點：

● 固態(tài)射頻發(fā)生器及調(diào)諧電路
● 全自動控制
● 抽屜式結(jié)構(gòu)
● 兩種處理氣體
● 緊湊的臺式系統(tǒng)

優(yōu)點：

● 低溫灰化過程
● 易操作
● 裝/卸樣品方便
● 可選擇不同的混合氣體
● 節(jié)省空間
● 注：我們建議使用No. 2泵，
       它具有“專用的油”。

技術(shù)規(guī)格

儀器尺寸：450mm W x 350mm D x 300mm H        重量：25Kg
桶形工作腔室：‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.（硼硅酸鹽玻璃作為標(biāo)準(zhǔn)配置）
拉出式抽屜：樣品托盤為抽拉式
等離子輸出：射頻電源-固態(tài)150瓦射頻峰值，通常操作范圍在25到75 瓦 @ 13.56mhz.
(備注：所使用的頻率為國際標(biāo)準(zhǔn)組織CISPR認(rèn)可的“工業(yè)”頻率)
真空測量范圍：完整的操作真空顯示的活性計量頭ATM - 1x10-5 mbar全刻度-通常操作真空為0.5mbar到1.0mbar
數(shù)字計時單元：99.9小時選擇范圍時間顯示。在灰化過程結(jié)束后自動終止。
雙氣體流控制：雙氣體針閥控制，可選1或2或兩種氣體（校準(zhǔn)5到 100cm3/分 空氣 @ A.T.P.）
電源：230V 50Hz (包括泵最大電流5 Amp)；115V 60Hz(包括泵最大電流10 Amp)
Services： Process Gas at nominal 5 psi, (0.33bar)
真空泵：No. 2 泵 (with a synthetic oil "Fomblin" for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m3/Hr

南京覃思科技有限公司是由原南京江南光學(xué)儀器廠資深光電儀器專家出資設(shè)立的一家從事光學(xué)、電子儀器銷售與服務(wù)的專業(yè)公司。公司經(jīng)營范圍主要為：光學(xué)儀器；光電測量儀器；電子儀器；與儀器配套的計算機(jī)軟硬件的銷售、研發(fā)以及技術(shù)服務(wù)。公司具有多年行業(yè)經(jīng)驗，擁有良好的客戶資源和技術(shù)能力,所銷售的儀器質(zhì)量和服務(wù)均為一流，在用戶中口碑很好。
代理銷售的產(chǎn)品為：“美國OGP”三坐標(biāo)測量顯微鏡；“韓國MIRERO”掃描電子顯微鏡AIS2100（掃描電鏡SEM）；Delong USA Inc低壓桌上型透射電鏡LVEM5(LVTEM超小型臺式透射電鏡)；“美國熱電NORAN”X-RAY能譜儀；“英國EMITECH”電鏡制樣設(shè)備；“日本尼康（NIKON）”生物顯微鏡；“美國Maxwell”冷光儀(BL/CL法摩爾濃度儀、生物發(fā)光儀、化學(xué)發(fā)光檢測儀)；“德國萊卡（LEICA）”金相顯微鏡、其它工業(yè)顯微鏡；“日本拓普康（TOPCON）”色彩輝度計BM-7等系列、分光輻射度計SR-3；“英國雷尼紹（RENISHAW）”激光干涉儀、球桿儀；國產(chǎn)“江南牌（JN）”各類顯微鏡；“貴陽新天”萬工顯、投影儀、測長儀；以及與儀器配套的顯微圖象處理分析軟件系統(tǒng)（含各種進(jìn)口、國產(chǎn)CCD攝像頭）DT-2000等，本公司是韓國MIRERO株式會社授權(quán)的掃描電子顯微鏡(掃描電鏡SEM)中國總代理,同時還是“英國EMITECH”電鏡制樣設(shè)備、韓國SurfaceTech界表面張力\接觸角測量儀中國總代理以及Delong USA Inc桌上型低壓透射電鏡LVEM5中國大陸代理商。本公司還承接各種顯微鏡的數(shù)字化改造。技術(shù)、質(zhì)量、服務(wù)均為一流，在用戶中口碑很好。
本公司一向堅持以“誠信經(jīng)營、誠實服務(wù)”為立業(yè)宗旨，奉行“精研覃思、無微不至”的企業(yè)文化，公司將以更優(yōu)秀的科技產(chǎn)品及服務(wù)回報社會，愿與社會各界竭誠合作，共同發(fā)展。
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