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| 硅片最大尺寸 | Ø152.4mm(6") | a進(jìn)給0.1-70mm/s | Y軸最大行程 | 160mm | Z軸最大行程 | 19mm | 主軸轉(zhuǎn)速10000-40000r/min | ||
| X軸最大行程 | 200mm | 回程70mm/s | Y軸最小步進(jìn)距離 | 0.002mm | 以Ø50mm刀 | 盤為準(zhǔn) | 通常30000/min 功率40W | |||
| X軸行程范圍 | 20-160mm | b進(jìn)給1-300mm/s | Y軸最大步進(jìn)速度 | 30mm/s | Z軸最小步距 | 0.002mm | CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) | |||
| 切割速度 | (分兩級(jí)) | 回程300mm/s | Y軸定位精度 | 0.008mm | θ軸旋轉(zhuǎn)范圍 | 900 ±30" | 尺寸(mm)906＊1020＊740 | |||
J51152/ZF劃片機(jī) | ||||||||||
| 晶片加工尺寸 | 155＊155＊5mm | Y軸最小步距 | 0.002mm | Z軸最大行程 8mm | θ軸分辨率 0.0050 | ||||
| 刀片尺寸 | Ø50-Ø60mm | Y軸定位精度 | ±0.003mm | Z軸進(jìn)給速度 7mm/sec | θ軸旋轉(zhuǎn)速度 900/2.2sec | |||||
| Y軸最大行程 | 155mm | X軸最大行程 | 250mm | θ軸旋轉(zhuǎn)范圍 0-2250 | 主軸轉(zhuǎn)速范圍 3000-40000r/min | |||||
| Y軸進(jìn)給速度 | 50mm/sec | X軸進(jìn)給速度 | 0.1-200mm/sec | θ軸顯示增量 10 | 主軸功率 1.5KW | |||||
J51150-2/ZF劃片機(jī) | ||||||||||
| 芯片最大尺寸 | Ø152.4mm(6") | Y軸最大行程 | 160mm | 遞增間距 | 0.005mm | θ軸步進(jìn)間距 | 0.002250 最小 | ||
| X軸最大行程 | 160mm(6.3") | Y軸步進(jìn)距離 | 0.002-99.998mm | 微動(dòng)間距 | 0.0025mm | θ軸旋轉(zhuǎn)速度 | 900/3.7sec | |||
| X軸行程范圍 | 20-153mm | Y軸最大步進(jìn)速度 | 30mm/s | 最大升降 | 速度15mm/s | 主軸直接驅(qū)動(dòng) | 空氣軸承 | |||
| X軸切割速度 | 0.3-300mm/s | Z軸最大行程 | 20mm | θ軸旋轉(zhuǎn) | 范圍 0-900 | 主軸速度 | 10000-40000r/min | |||
| X軸回程速度 | 300mm | Z軸升降范圍mm | 0.005-19.995 | θ軸最小 | 角度± 10 | 功率1.25kw | 通常30000r/min | |||
J51150-1/ZF劃片機(jī) | ||||||||||
| 手動(dòng)金剛刀劃片機(jī) |
| 熱板爐 | 溫度均勻性 | ||||||
| 工作臺(tái)縱橫進(jìn)刀行程: | 110mm | 接觸式 | ±1℃(Φ200mm以內(nèi)區(qū)域) | |||||||
| 工作臺(tái)面的最大直徑: | 101.6mm（4"） | 熱板尺寸 | Φ220mm | 手動(dòng)開關(guān)爐蓋及放取硅片 | ||||||
| 工作臺(tái)面的吸附直徑: | 25.4～101.6mm | 溫度范圍 | 60℃～300℃ | 電子定時(shí) | 1分鐘～99小時(shí)99分鐘 | |||||
| 外形尺寸: | 550mm×400mm | 溫度150℃以上勿合蓋 | 功率 | 400W | ||||||
J51100-1/ZF劃片機(jī) | ||||||||||
| 薄片尺寸 | 最大Ф75mm | 劃刀行程 | 60mm,80mm | 劃線精度 | 累積誤差±0.02mm/75mm | 環(huán)境條件 | |||
| 劃線間距 | 0～9.99mm | 劃線速度 15,20,25,27條線/min | 顯微鏡 | 放大20倍 | 室溫35℃以下 | |||||
| 適應(yīng)劃線間距 | 0.20～9.99mm | 彈簧加壓式 壓力10～150g(可調(diào)) | 電源 | AC 220V | 濕度65%以下 | |||||
| 臺(tái)面回轉(zhuǎn)角度 | 90° ±1"30" | 裝刀角度 50°～90°(每10°刻度) | 外形尺寸 | 500mm×480mm×470mm | ||||||
J5175-1/ZF劃片機(jī) | ||||||||||
| 主軸刀架裝刀數(shù)量≤13把 | 定位精度90° ±1" | Y軸行程300mm Y軸分辨率0.002mm | Z軸行程100mm | ||||||
| 刀架徑向機(jī)械精度≤0.05mm | 臺(tái)面尺寸(mm)240＊190 | Y軸精度0.012mm | Z軸分辨率0.001mm | |||||||
| 刀架軸向機(jī)械精度≤0.05mm | X軸行程200mm | X分辨率0.001mm | Y軸可重復(fù)性0.009mm | Z軸精度0.008mm | ||||||
| 主軸調(diào)速范圍0-3000r/min | X軸精度0.003mm | X重復(fù)性0.002mm | Y軸速度2.5-2540mm/min | Z軸可重復(fù)性0.005mm | ||||||
J50300-1/ZF劃片機(jī) | 工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)360 每94°定位 | X軸速度2.5-762mm/min | Y軸直線運(yùn)動(dòng)偏差(最大)0.008mm | Z軸速度0-1270mm/min | ||||||
相關(guān)產(chǎn)品鏈接:
J51200/ZF砂輪劃片機(jī)能對(duì)各種硬脆材料進(jìn)行切割或槽加工。如硅片鍺、玻璃、鐵氧體、鈮酸鋰、鉭酸鋰、磷化鎵、砷化鉀、磷砷化鎵氧化鋁及各類陶瓷等。用于切割時(shí)可切出方形、六邊形等形狀。
J51600/ZF6英寸砂輪劃片機(jī)能對(duì)各種硬脆材料進(jìn)行切割或槽加工。如硅片鍺、玻璃、鐵氧體、鈮酸鋰、鉭酸鋰、磷化鎵、砷化鉀、磷砷化鎵氧化鋁及各類陶瓷等。用于切割時(shí)可切出方形、六邊形等形狀。
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