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| 規(guī)格 | 氦氣純化器 貨號 | 氮氣純化器 貨號 |
| 110VAC | HP-2 | NP2 |
| 230VAC | HP2-220 | NP2-220 |
| 純化芯 | I-23572HP2 | I-23572NP |
| 氦氣純化器 | |
| 純化氣體： | He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn |
| 最大操作壓力： | 1000 psig |
| 不純氣去除： | 輸入氣雜質(zhì)濃度在10ppm 純化輸出低于10ppb H2O, H2, O2, N2, NO, NH3, CO, CO2, CH4, 其他氣體去除包括CF4, CCl4, SiH4, H2 |
| 不被去除的： | He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn |
| 氮氣純化器 | |
| 純化氣體： | 只純化N2 |
| 不純氣去除： | 輸入氣雜質(zhì)濃度在10ppm 純化輸出低于10ppb H2O, H2, O2, NO, NH3, CO, CO2, CH4, 其他氣體去除包括CF4, CCl4, SiH4, H2 |
| 不被去除的： | 同氦氣純化器 |
氧化硫分析儀與Ecotech HTO-1000型熱氧化爐一起使用，可測試H2S或TRS（總有機硫）。
在測試H2S時，轉(zhuǎn)換爐需要與氧化硫滌除器連用。用氧化爐將H2S轉(zhuǎn)換為二氧化硫（SO2），并用Ecotech ML9850 SO2分析儀測試其合成氣體，以測定H2S的含量。樣氣通過安裝在爐子進氣口處的滌除器，滌除器可以去除樣氣中的氧化硫，可將大于97%的硫化物去除。通過滌除器后的樣氣只含有H2S，然后樣氣流過加熱石英管（ >560℃），將H2S中的氫分離，使其分解為SO2 和H2O。
EC9852型二氧化硫/硫化氫分析儀有微機進行控制，采用紫外熒光原理，可以精確、可靠地對二氧化硫和硫化氫進行測量。
儀器對由溫度、壓力變化造成的影響自動進行修正，其顯示單位可以
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