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關鍵詞：高低溫探針臺，半導體，光電，吉時利
GDWT-480型全自動型高低溫真空探針臺主要應用于I-V/C-V，PIV測試,傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電子樣品測量的研發(fā)，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本，可以配合Keithley,Tektronix等國內外各種源表對材料進行測試，可以做材料的介電，鐵電等測試,是目高等院校和研究所及材料生產(chǎn)單位的重要輔助設備。
GDWT-480型自動型真空高低溫探針臺該探針臺尺寸高達59x59MM，不銹鋼臺面設計，可以達到高溫350℃。在真空方面采用真空腔體設計，具備進氣口和抽真空接口，三軸移動探針臂保證X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調節(jié)，用戶可根據(jù)需要自行調節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測.
主要特點：
1、溫度可以從-190℃-350℃
2、探針不需要打算開觀察窗口，可以通過X/Y/Z三軸移動調節(jié)探針，
3、可以配真空，氣氛等多種功能。
4、三軸調節(jié)范圍：其中X方向0－28mm；y方向調節(jié)范圍：0－18mm；z方向調節(jié)范圍：0－18mm；
主要技術參數(shù)：
| 真空腔體 | |
| 整內腔體尺寸 | φ160x90mm（標準） |
| 觀察窗尺寸 | Φ70mm |
| 樣品臺尺寸 | Φ60mm |
| 觀察窗熱臺間距 | 74mm |
| 加熱臺溫度 | -190-350℃ |
| 加熱臺溫控精度 | ±1℃ |
| 真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-5Pa |
| 電信號接頭 | SMA轉BNC X 4 |
| 電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
| 探針數(shù)量 | 4探針 |
| 探針材質 | 鎢針 |
| 探針尖 | 10μm（其他多種可選）0.5微米/1微米/2微米/5微米//20微米 |
| 制冷 | 液氮/液氦/制冷機 |
| 探針移動平臺 | |
| X-Y-Z移動行程 | 30mm*25mm *25mm |
| 結構 | 真空波紋管結構，精密三軸控制探針 |
| 精度 | ≤0.01mm |
| 漏電精度 | 10pA,100fA,10fA |
| 接頭類型 | BNC/三軸/鱷魚夾/香蕉頭/接線端子 |
| 頻率支持 | DC-67GHZ |
| 針尖直徑 | 0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
| 電子顯微鏡 | |
| 顯微鏡類別 | 物鏡(可以選配） |
| 物鏡倍數(shù) | 0.6-5.0倍(可以根據(jù)客戶要求進行選配） |
| 工作間距 | 85mm |
| 相機 | sony 高清 |
| 像素 | 200萬/500萬/1200萬 |
| 圖像接口 | VGA |
| LED可調光源 | 有 |
| 顯示屏 | 9寸 |
| 放大倍數(shù) | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm |
| 可選附件 | |
| 光學平臺 |
|
| 屏蔽箱 |
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| 光電測試配件 |
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| 高壓測試配件 |
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| 激光系統(tǒng) |
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| 氣敏測試系統(tǒng) |
|
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