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產(chǎn)品簡介 ：
在實際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試得探針臺相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)得這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實用，成本較低得簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺，探針座，四維調(diào)整載片臺（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；
在實際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試得探針臺相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)得這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實用，成本較低得簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺，探針座，四維調(diào)整載片臺（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；
主要技術(shù)指標(biāo)：
結(jié)構(gòu)緊湊，功能實用，價格實惠
最大可用于12寸以內(nèi)樣品測試
兼容高倍率電子顯微鏡，可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降
漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內(nèi)）
精密絲杠/燕尾傳動結(jié)構(gòu)，線性移動，無回程差設(shè)計
應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實驗室使用
1微米以上電極/PAD使用
模塊化設(shè)計，可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊
技術(shù)參數(shù)選型：
| 規(guī)格/參數(shù) | |||||||
| 型號 | MPS-4 | MPS-6 | MPS-8 | MPS-12 | |||
| 電力需求 | 220VC,50-60HZ | ||||||
| 樣品臺 | 尺寸 | 4寸 | 6寸 | 8寸 | 12寸 | ||
| 行程 | XY行程50mm，Z軸升降60mm，360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊 | ||||||
| 移動精度 | 標(biāo)配10μm，可升級（5μm，3μm，1μm） | ||||||
| 背電極測試功能 | 可以引出電極 | 可以引出電極 | 可以引出電極 | 可以引出電極 | |||
| 定制模塊 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | |||
| 探針調(diào)整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | |||||
| 機械精度 | 標(biāo)配10μm，可升級（5μm，3μm，1μm） | ||||||
| 漏電精度 | 10pA-100fA（配置屏蔽箱） | ||||||
| 安裝方式 | 直接磁力吸附/可調(diào)磁力吸附/真空吸附 | ||||||
| 接口形式 | 香蕉插頭/鱷魚夾/同軸BNC/三同軸BNC | ||||||
| 光學(xué)成像 | 放大倍數(shù) | 7-200倍（最大可升級到720倍） | |||||
| CCD像素 | 500W（可升級200W） | ||||||
| 中心距離 | 140mm，升降范圍270mm，總高度350mm | ||||||
| 顯示器 | 8寸顯示器，將3-17mm的樣品放大到整個屏幕（可升級大尺寸顯微鏡） | ||||||
| 可選附件 | 加熱卡盤 | 高低溫卡盤 | 鍍金卡盤 | ||||
| 隔振支架 | 積分球測試選件 | 屏蔽箱 | |||||
| 射頻測試附件 | 導(dǎo)入光源支架 | 波長單色可調(diào)光纖光源（測光電流） | |||||
| 顯微鏡調(diào)節(jié)手動/電動調(diào)節(jié)裝置 | 激光切割顯微鏡 | 轉(zhuǎn)接頭配件 | |||||
PZT-JL03型壓電陶瓷居里點溫度測試儀是一款針對壓電陶瓷居里點溫度測試測的設(shè)備，該設(shè)備可以直接測試出樣品的居里點變化曲線及變化溫度點
品的居里點溫度簡單而實用。儀器可以電腦設(shè)置電腦溫
YDB-03型非接觸式表面電壓測量儀是一款應(yīng)用于壓電陶瓷，壓電薄膜等化后，采用非接觸方式測量其表面的電壓，電流等功能的實驗裝置，同時測量絕緣體、半導(dǎo)體或?qū)w表面電位測量，可以配合軟件進(jìn)行曲線成圖分析，
GWZK-03A高溫壓電阻抗分析測量系統(tǒng)是符合LXI標(biāo)準(zhǔn)的新一代高溫壓電阻抗測試儀器，其0.1%的基本精度、20Hz～5MHz的頻率范圍可以滿足元件與材料絕大部分低壓參數(shù)的測量要求，可應(yīng)用于諸如傳聲器
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