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探針輪廓儀（臺階儀）DEKATK150DEKATK150

探針輪廓儀（臺階儀）DEKATK150

  • 價(jià) 格： 電議
  • 型號：DEKATK150
  • 生 產(chǎn) 地：
  • 訪問：186次
  • 發(fā)布日期：2010/9/8(更新日期：2010/9/8)

鉑悅儀器（上海）有限公司

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產(chǎn)品展示

集40多年的探針輪廓技術(shù)創(chuàng)新于一身，該系統(tǒng)在行業(yè)內(nèi)的表現(xiàn)遙遙領(lǐng)先，以重現(xiàn)性最佳和標(biāo)準(zhǔn)掃描范圍最大而著稱。它提供各種各樣的配置和附加選項(xiàng)，用于程序化測量、低探針力表征和細(xì)節(jié)分析
臺階儀 Dektak 150 表面輪廓儀（探針式）
  • 詳細(xì)內(nèi)容
  • 公司簡介

 

 
規(guī)格：
測試技術(shù)：探針輪廓技術(shù)
測試功能：二維表面輪廓測試
樣品視場：640*480像素，USB；17 inc 平板顯示器
探針傳感器：低慣量傳感器（LIS 3）
探針壓力：使用LIS 3傳感器：1至15 mg
          使用N-lite傳感器：0.03至15 mg
探針選項(xiàng)：探針曲率半徑可選范圍：50 nm至25 um;
          高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺：手動X/Y/@：100*100 mm, 360度旋轉(zhuǎn)，可手動校平；
            可選Y自動移動載物臺，100 mm行程，1um重現(xiàn)性，0.5 um分辨率；
            可選X-Y自動移動載物臺，150 mm行程；
            1um重現(xiàn)率，0.5 um 分辨率
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)：主機(jī)使用celeron或者semprom處理器
軟件：Dektak軟件
      臺階檢測軟件
      可選應(yīng)力測量軟件
      可選三維Vision分析軟件
      可選縫合軟件
減震裝置：可選桌式震動隔離裝置
          可選臺式震動隔離裝置
性能
掃描長度范圍 55mm（2.1英寸）
每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn)最多12萬數(shù)據(jù)點(diǎn)
最大樣品厚度高達(dá)90 mm （4英寸），取決于配置
最大晶圓尺寸 150 mm（6英寸）
臺階高度重現(xiàn)性 6埃
垂直范圍：標(biāo)準(zhǔn)524um（0.02英寸）；可選1mm
垂直分辨率：最大1A（6.55um垂直范圍下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
電源要求：
輸入電壓： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ

 

鉑悅儀器（上海）有限公司，原上海凱悅電子科技有限公司，成立于2004年，是一家專業(yè)的集銷售、安裝、服務(wù)于一體的進(jìn)口儀器代理公司，目前鉑悅是英國OXFORD光譜儀、X熒光分析儀、能譜儀等系列，美國VEECO探針及光學(xué)輪廓儀，美國FARO便攜式三坐標(biāo)、激光跟蹤儀等產(chǎn)品的總代理。鉑悅儀器成立至今，依托良好的產(chǎn)品平臺和專業(yè)務(wù)實(shí)的工作團(tuán)隊(duì)，在業(yè)界贏得了良好的口碑。我們致力于為客戶提供全面高效的產(chǎn)品服務(wù)，期待為您提供更多更好的解決方案。
 
VEECO 探針輪廓儀（臺階儀）DEKATK150
      光學(xué)輪廓儀          NT1100,9100,9300,9800
      原子力顯微鏡AFM    DI,INNOVA,MULTIMODE
OXFORD 臺式直讀光譜儀     FMC,FM UV
       落地式直讀光譜儀   FMP
       移動式直讀光譜儀   PMP,ARC-MET8000
       手持式合金分析儀   X-MET5000
FARO 關(guān)節(jié)臂
切割機(jī)、研磨機(jī)、掃描電鏡等
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