北京華旭世紀HXMF05系列氣體質量流量計/控制器，采用了數(shù)字式技術，相比模擬技術，HXMF05系列產品提高了精度和數(shù)字化程度。它采用了毛細管熱傳感技術和熱溫差原理，來測量和控制氣體的質量流量。由于熱溫差只和氣體的質量流量有關，因此其測量值不受氣體的溫度和壓力變化的影響。
    HXMF05系列小流量熱式質量流量產品，采用了緊湊型設計，體積小巧精致，產品堅固耐用。產品使用了線性化校正電路和EMI保護，具備安全可靠、性能穩(wěn)定、低功耗、壽命長等特點。 
    在數(shù)據(jù)傳輸上，不但具備傳統(tǒng)的有線式，還具備局域網無線傳輸數(shù)據(jù)，互聯(lián)網遠程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺等強大功能。

：：產品特色：：

● 數(shù)字化技術，更快速的響應時間
● 優(yōu)于1%FS的高精度
● 出色的長期穩(wěn)定性
● 可測量腐蝕性氣體，堅固耐用
● 精巧的外觀設計，全面的安全保護電路及EMI
● 可配專用顯示表，顯示瞬時流量
● 諸多選項：高精度、自定義量程、流量信號無線傳輸
            遠程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺、短*報警、郵件報警等

：：典型應用：：

· 光伏及晶體制備   · 真空行業(yè)及鍍膜   · 泄漏檢測· 爐窯及微反應裝置   
· 半導體行業(yè)   · 大學/研究所· 分析儀器   · 氣體混合配比   
· 計量及計價· 燃料電池   · 燃燒測試   · 其它氣體測控場合

：：性能指標：：

介質要求：與介質兼容的氣體，支持腐蝕性氣體
介質種類：客戶指定，也可現(xiàn)場更改-需咨詢我們
標定工況：0℃ @ 1 atm（氮氣）
測控量程：從0～5sccm到0～250slm任選,可定制更高流量范圍
量程比：50:1
精度：±0.35%F.S.或±1.0%RD，取數(shù)值大者（FS-滿量程 RD-讀數(shù)）
重復性：±0.2%F.S.
流量分辨率：0.1%F.S.
響應時間：1.5S
閥門狀態(tài)：常閉（僅控制器，流量計無閥門）
工作溫度：5～45℃
工作濕度：0～100%RH（無冷凝）
工作壓差范圍：流量計 0.02MPa～3MPa
             控制器 0.1～0.5MPa(>10SLM為0.1～0.3MPa)
最大耐壓：3MPa，可選高壓選項10MPa
輸入輸出信號：標準為RS485，可選0～5V
通訊協(xié)議：Modbus
供電電壓：24VDC@250mA
電氣接口：DB15pin，2XRJ45
泄漏率：≤1×10-10次方Pa·立方米 /S（He）
接液材質：316L SS
密封材料：根據(jù)氣體種類由廠家選擇或客戶指定，包括：PTF、氟橡膠FKM、全氟橡膠FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ，等
管道接頭：1/4〃VCR，1/8、1/4、3/8雙卡套，3、6、8、10mm雙卡套
外形尺寸：長×寬×高：127×30×128.5mm
產品重量：流量計0.75kg          控制器0.9kg

：：訂購信息：：

· 流量計或控制器   · 氣體種類   · 流量范圍   · 工作溫度         
· 入口壓力   · 出口壓力 · 管道連接尺寸和類型        
· 輸入/輸出信號 · 安裝姿勢   · 選項及其它特殊要求：請咨詢我們