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薄膜壓電激光干涉儀

薄膜壓電激光干涉儀

  • 價(jià) 格: 2000000元
  • 型號(hào):
  • 生 產(chǎn) 地:中國(guó)大陸
  • 訪(fǎng)問(wèn):0次
  • 發(fā)布日期:2019/5/14(更新日期:2019/5/14)

欣源科技(北京)有限公司

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雙光束激光干涉儀 aixDBLI
(Double Beam Laser Interferometer)
雙光束激光干涉儀專(zhuān)門(mén)用于壓電薄膜的蝴蝶曲線(xiàn)和縱向壓電系數(shù)d33的測(cè)試。
這是世界上第一臺(tái)適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
半自動(dòng)的系統(tǒng)用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關(guān)性能的測(cè)試。

.欣源科技(北京)///薄膜壓電激光干涉儀
  • 詳細(xì)內(nèi)容
  • 公司簡(jiǎn)介
雙光束激光干涉儀 aixDBLI
(Double Beam Laser Interferometer)
雙光束激光干涉儀專(zhuān)門(mén)用于壓電薄膜的蝴蝶曲線(xiàn)和縱向壓電系數(shù)d33的測(cè)試。
這是世界上第一臺(tái)適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
半自動(dòng)的系統(tǒng)用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關(guān)性能的測(cè)試。
大量樣品測(cè)試的重復(fù)精度可達(dá)2%以上。
測(cè)試功能:
機(jī)電大信號(hào)應(yīng)變、極化、壓電系數(shù)、小信號(hào)介電常數(shù)。
疲勞和電性及機(jī)械性能可靠性。
樣品測(cè)試:
極化曲線(xiàn)和位移曲線(xiàn)。
小信號(hào)電容及壓電系數(shù)。
技術(shù)參數(shù):
分辨率: ≤1 pm(X晶向的石英)
測(cè)量范圍:5pm-  /- 25nm
波長(zhǎng):632.8nm
位移/應(yīng)力測(cè)試:>50Hz,最小1Hz分辨率,欣源科技(北京)有限公司,欣源科技(北京),100mV到10V(可選到200V)
壓電d33系數(shù):
  基電壓100mV到10V(1mHz到1Hz屮),薄膜壓電激光干涉儀
,可選到200V
  小信號(hào)100mV到10V(1kHz到5kHz)
C-V測(cè)試:
  基電壓100mV到10V(1mHz到1H饣z),薄膜壓電激光干涉儀
,可選到200V
小信號(hào)100mV到10V(1kHz到5kHz)
欣源科技SYNERCE獨(dú)家代理德國(guó)aixACCT公司的鐵電壓電熱釋電系列產(chǎn)品,包括:鐵電分析儀(鐵電測(cè)試儀、TF2000E、TF Analyzer 2000E/3000、極化測(cè)量?jī)x)/壓電分析儀(壓電測(cè)試儀)/熱釋電分析儀(熱釋電測(cè)試儀),壓電材料綜合表征系統(tǒng)aixPES、多鐵材料磁電磁阻測(cè)試儀aixPES-MR、高低溫塊體壓電分析儀aixPES-600/800、電卡效應(yīng)測(cè)試儀ECM、熱激發(fā)極化電流測(cè)試儀TSDC、超薄薄膜壓電雙光束激光干涉儀aixDBLI、陶瓷多層執(zhí)行器測(cè)試儀(aixCMA、陶瓷多層驅(qū)動(dòng)器測(cè)試儀、陶瓷多層電容器測(cè)試儀),機(jī)電薄膜e31測(cè)試儀aix4PB、阻變式存儲(chǔ)器測(cè)試儀RRAM、鐵電遲豫電流測(cè)試儀aixPES-RX、鐵電自放電測(cè)試儀aixPES-DR、鐵電隨機(jī)存儲(chǔ)器測(cè)試儀FeRAM、熱電性能測(cè)試儀COMTESSE(塞貝克系數(shù)測(cè)試儀)等。

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