Plasma Sources 等離子體源系列
法國SAIREM公司是擁有40多年的微波和射頻工程經(jīng)驗(yàn)的高科技公司，可為用戶定制電子設(shè)計(jì)、應(yīng)用開發(fā)、工藝設(shè)計(jì)和生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)化的微波、射頻、直流發(fā)生器、等離子體源等相關(guān)產(chǎn)品。
微波技術(shù)在等離子體實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)中不斷發(fā)現(xiàn)新的應(yīng)用，這是由于微波等離子體的許多優(yōu)點(diǎn)，例如，超密度等離子體-離子和活性物疋種，電極更少，在各種壓力下的操作。微波輔助等離子體在金剛石沉積、表面活化、殺菌、納米材料合成、氣體凈化等面的應(yīng)用。
為了滿足這些復(fù)雜技術(shù)所要求的越來越苛刻的要求，我們已經(jīng)開發(fā)出了自己的等離子體源和反應(yīng)器。
我們可以提供關(guān)于選擇等離子設(shè)備和適合你需要的微波頻率的建議，還可根據(jù)要求提供特殊配置，并且樂于幫助開發(fā)您自己應(yīng)用的設(shè)備。
主要應(yīng)用領(lǐng)域：
分析
金剛石沉積
表面清洗
蝕刻
防止污染
化學(xué)合成
(301)Downstream 等離子體源
這種表面波的等離子體源產(chǎn)生等離子體，在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的WR340波導(dǎo)中（直徑20-60毫米）。這種等離子體源可以根據(jù)壓力、微波功率和等離子氣體的性質(zhì)，使長等離子體的點(diǎn)火和維持。
壓力范圍：10-2mbar到大氣壓力
氣體類型：Ar，N2，O2，空氣，……
最大功率：6kW
應(yīng)用類型：自由基/反應(yīng)性物種的產(chǎn)生，欣源科技（北京）,.欣源科技（北京），同軸ECR等離子體源微波頭
,欣源科技（北京）有限公司，表面饣激活，PECVD，氣體減排，氣化，滅菌（UV），欣源科技（北京）,.欣源科技（北京），同軸ECR等離子體源微波頭
,欣源科技（北京）有限公司，納米粒子合成
(302)Sur-fa-guide 等離子體源
壓力范圍：mbar到atm
主要用于：氣體減排、氣化、滅菌、納米粉合成、表面活化、大氣高溫化學(xué)
(303)AURA W-A-V-E 同軸ECR等離子體源（低壓等離子體）
KF/CF法蘭，氟橡膠密封圈/無氧銅密封圈，搭配固態(tài)微波發(fā)生器，可組成陣列
(304)HI- W-A-V-E 同軸碰撞型等離子體源（中壓等離子體）
KF/CF法蘭，氟橡膠密封圈/無氧銅密封圈，搭配固態(tài)微波發(fā)生器，可組成陣列
(305)S- W-A-V-E等離子體源（Sur-face  W-A-V-E plasma source 表面波等離子體源，搭配固態(tài)微波發(fā)生器），主要特點(diǎn)：
頻率2450MHz±50MHz
最大微波功率200W
集成到DBD點(diǎn)火系統(tǒng)（Dielectric Barrier Discharge介質(zhì)阻擋放電點(diǎn)火系統(tǒng)）
壓力范圍10-2mbar到大氣壓
Ar和基于Ar基混合物可在1atm下使用
所有氣體都可在更低壓力下使用
直徑6或8毫米的電介質(zhì)管
Swagelok 6mm氣體連接器
主要應(yīng)用領(lǐng)域：表面活化、元素分析、原子層沉積、氣體減排、分子激活/物質(zhì)活化、殺菌消毒、減少細(xì)菌附著、慢性傷口和受感染皮膚的治療
欣源科技SYNERCE獨(dú)家代理法國SAIREM產(chǎn)品系列，包括：
微波發(fā)生器(微波電源)2.45GHz系列、微波發(fā)生器(微波電源)915MHz系列、等離子體源(Plasma Sources、微波頭)、微波化學(xué)系列MW Chemistry、射頻發(fā)生器(RF發(fā)生器、射頻電源)、用于等離子體的直流電源DC系列、微波等離子體專用水冷機(jī)系列

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