耀群科技為一家專業(yè)的Particle Counter設(shè)備代理商及相關(guān)在PMS微污染的防治領(lǐng)域應(yīng)用的技術(shù)團隊。代理美、日、韓等先進國家的量測儀器及其技術(shù)，其中代理美國HACH ULTRA ANALYTICS及其旗下的MetOne / Royco/ ARTI / RION (Air, Gas), Hiac(DIW, Chemicals),及High Yield Technology (HYT)等知名品牌。
耀群科技目前所專業(yè)代理服務(wù)的產(chǎn)品如下：
A.美國HACH ULTRA ANALYTICS是全世界最大的微粒子偵測系統(tǒng)Particle Counter供貨商，品牌包括MetOne、ROYCO、HIAC、HYT，

分別供應(yīng)無塵室class1~10K、室內(nèi)空氣質(zhì)量、高壓氣體、Hepa/Ulpa泄漏量測及監(jiān)控系統(tǒng)(FMS)、在線超純水DIW系統(tǒng)、在線制程化學品溶液、

高粘度光阻及各式油品含潤滑液溶劑、真空制程設(shè)備CVD, Ion Implanter, Furnace, Plasma Etcher、有關(guān)Particle量測等相關(guān)專業(yè)服務(wù)。

B.Anatel UP-100/UP-50 廠務(wù)端超純水在線微粒潔凈間控. 有關(guān)上游純水供給端或清洗機臺管路內(nèi)(On-line)以及桶槽內(nèi)(Off-line ; 需PUMP )的particle量測,

本公司有代測以及設(shè)備的銷售部分.可實時監(jiān)控液體中的particle的改變, 或了解供給端的潔凈度情形, 或使用端的潔凈度.
測試范圍由0.1 ~ 5.0 um之間皆可; 可任選4個您所期望的 size 量測

or 0.05 ~ 0.1um, 選2個您所期望的 size 量測, 適合DIW, Ultrapure water, All chemical (Include HF acid).

C. ESD靜電量測設(shè)備、TSI風速計、Rotronic 溫濕度計、……等。
D.無塵室NEBB代測、專業(yè)咨詢、儀器租借等服務(wù)。

E.Surface Particle Detector, Mini-environmental Monitoring System

美國Pentagon Technologies 的 QIII+ 應(yīng)用于設(shè)備機臺( PVD, CVD,.., Etch, Diffusion ) Chamber 內(nèi)Surface Particles 量測, 可降低產(chǎn)品Defect和Test Wafer的使用量, 以及工作臺面積臺

表面潔凈度..等的驗證. 此已為目前機臺維護作業(yè)時的標準工具之一. Q-view 為一針對Mini-environment, Factory Interface 等

F. ASYS KTC UV Particle 表面微粒子檢測機 (對曝光機; 顯影機 及偏光板貼附機臺效果最為顯著)

其UV 光 是使用用人體無害的 UVA 波長: 356nm

1.對于制程機臺上之 有機物質(zhì); 油漬; 水漬; 帶靜電Paricle;毛屑;纖維; 膠類物質(zhì)Particle 皆可觀察

2.無法觀察金屬屑, 玻璃(可用一般強光燈 or 綠光) 3.若背景為鏡面不銹鋼 或完全白底 其觀察效果較不顯著.

4.產(chǎn)生較普通水銀燈十倍的UV-A Output
G.美國Matec Applied Sciences超微粒徑分析儀提供最新的聲波檢測原理，Sample不需稀釋即可分析出準確的Particle Size，

提供各種不同的Particle分布分析的模式，量測范圍從5nm-100um，適合用于CMP Slurny、Ceranincs、lnks、Phsrmaceutic..等。

H.Helmke Drum RTC-3000 無塵衣發(fā)塵量測試漢姆克滾筒;符合IEST-RP-003規(guī)范。

I.測試擦拭布潔凈度Liquid Particle Counter

J.日本INTI ION Counter正負離子計數(shù)器測試各種環(huán)境下正、負離子的濃度與各種負

離子相關(guān)產(chǎn)品的離子產(chǎn)生數(shù)量,應(yīng)用在觀察 正負離子在空氣中的 驗證。

K.氣流可視化:型號 : ASYS Air View KT-100 氣流可視化純水煙霧機

建議使用設(shè)備 ASYS Air View (純水)使用純水無污染; 最后與空調(diào)中之濕度調(diào)和

適合用在觀察Cleanbooth;及機臺運轉(zhuǎn)時氣流之方向

耀群科技提供完整解決的方案，相信可以成為貴公司最好的技術(shù)顧問伙伴。

PS:

臺灣的客戶群有臺積, 聯(lián)電, 華邦, 力晶, 茂德, 茂硅, 南亞科技, 通用電子, 立生, 碧悠, 元太, 翰宇彩晶, 友達光電, 廣達/廣輝, 奇美, 勝華, 勝開, 中華映管, 臺灣凸版, 瑞儀光電, 訊昌, 光寶, 夏普, 日月光, 清三電子, 氰胺, 生達, 中化, 永日化學, 永信制藥, 勇博工程, 九合工程, 龍?zhí)�無塵洗衣, 久登無塵洗衣, 安麗, 優(yōu)思加, 中科院, 工研院, 工研院量測中心, 衛(wèi)生署疾病管制局, 國防醫(yī)學院, 臺大醫(yī)院, 華航, 航發(fā)中心, 核能廠等等超過500家以上,涵蓋所有產(chǎn)業(yè)。

中國大陸的客戶群有富士康集團,上海臺積電,上海日月光,上海華微半導體,天馬微電,南京統(tǒng)寶,南京四國,翰宇彩欣,寧波奇美電子,寧波奇美材料,菱宏電子,蘇州聯(lián)建,蘇州友達,蘇州和艦,蘇州廣輝,北京康寧,太倉龍鉅,廣東長豐紡織,昆山富泰,等等超過300家以上,涵蓋所有產(chǎn)業(yè)。

耀群科技除了Service Engineer有去HACH原廠受訓并取得證書外, 蘇州、上海和臺灣竹北、臺南也有完整的校驗維修處。耀群公司直接提供 HACH原廠技術(shù)支持的服務(wù)。相信對貴公司未來在Particle所造成Defect防制上有更大的幫助。

如需更詳細的資料或有關(guān)無塵室量測之任何問題歡迎隨時與我連絡(luò)，我們會立即為您解答。

茲提供詳細目錄數(shù)據(jù)，請參考！

若有任何Particle技術(shù)層面上的問題請與我聯(lián)絡(luò)!!
期待您的回信!!!希望能有機會能為貴公司服務(wù)
TKS and Best Regards,
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