
您的位置:首頁 > 產(chǎn)品展廳 > 儀器儀表 > 光學儀器 > 顯微鏡 > SU-70日立分析型熱場發(fā)射掃描電鏡
技術(shù)參數(shù):
二次電子圖象分辨率:
1.0nm(15KV.WD=4.0mm)
1.6nm(1KV.WD=1.5mm,減速模式)
2.5nm(1KV.WD=1.5mm)
放大倍數(shù):
低放大倍數(shù)模式 20-2,000x
高放大倍數(shù)模式 100-800,000x
電子光學:
電子槍 ZrO/W 肖特基電子槍
電流 1pA-100nA
加速電壓 0.5-30KV(標準模式)
著陸電壓 0.1-2.0KV(減速模式)
透鏡系統(tǒng) 3級電磁線圈系統(tǒng)
物鏡光闌 4孔光闌,真空外選擇和細調(diào)
樣品臺:
樣品臺控制 5軸馬達控制
移動范圍
X 0-110mm
Y 0-110mm
z 1.5-40mm
T -0.5O-+700
R 360O
樣品尺寸 直徑150mm(標準)
(最大) 直徑200mm(可選)
探測器:
二次電子探測器
背散射電子探測器(可選)
STEM探測器(可選)
法拉第杯(可選)
X射線能譜儀(可選)
X射線波譜儀(可選)
EBSP探測器(可選)
陰極熒光探測器(可選)
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