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使用高頻使氬氣形成電離子狀態(tài)，產(chǎn)生高溫的等離子體。霧化器吸上液體試樣進(jìn)行霧化，導(dǎo)入該等離子體內(nèi)時，試樣中的原子被激動。對由激發(fā)原子產(chǎn)生的元素特有的光進(jìn)行分光是ICP發(fā)射光譜分析法，離子化的原子引入真空內(nèi)進(jìn)行質(zhì)量分析是ICP質(zhì)量分析法。
超高靈敏度（ppt~ppm).動態(tài)量程寬（ppt~ppm).可定性分析，同時多元素定量。溶液分析，容易制作校準(zhǔn)線試樣�？赏凰乇葴y定。
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