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、光學照明系統(tǒng):可調(diào)節(jié)LED冷光源,使工件表面照明均勻,提高了測量的高精度和可靠性。
2、測量精度:高精度的SONY彩色CCD攝像機、光學透鏡及LED同步底光源的光路的同軸性都精確校準。
3、工作臺:采用花崗巖的機座,帶平板玻璃可移動的高剛性、表面陽極化的雙層十字特種金屬工作臺,Z軸完全獨立,運動互不干擾,所有軸運動均由高精度的直線導軌進行。
4、導軌方式:采用進口的具有極高耐磨性的特種鋼制成的高精度直線導軌,保證了軸向直線度和垂直度。
5、驅(qū)動系統(tǒng):采用高載荷的4V無牙精密絲杠傳動裝置(專利技術),確保系統(tǒng)傳統(tǒng)更快捷,更精準。
6、Z軸采用平衡裝置,提高了Z軸的定位精度及穩(wěn)定性。
7、長度計量系統(tǒng):光柵尺不直接近被測工件,遵循了阿貝誤差原理,減小了系統(tǒng)誤差。
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