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集成電路照排平臺(tái)高精度定位電渦流位移傳感器
在關(guān)鍵的Z軸高度調(diào)整中，支撐圓晶片的平臺(tái)必須非常精確地處于焦點(diǎn)平面（次原子級(jí)）。凱盟系統(tǒng)精確測(cè)量Z軸平臺(tái)的位置（如圖）并輸出模擬信號(hào)（或可選的數(shù)字接口）。此傳感器的高精度、重復(fù)性和分辨率可讓用戶在平臺(tái)定位和聚焦上形成閉環(huán)。用凱盟公司15N傳感器頭和前置器SMU9000組成。
主要指標(biāo)：
測(cè)量對(duì)象：鋁
量程起點(diǎn)：0.25mm
量程：25µm
非線性：±1％
分辨率：<25x10^-11M
靈敏度：0.4V/µm
電源：+12～+30V，15MA/每通道
頻響：0－10KHZ
輸出：0-10V
溫漂：<0.5µm/℃
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我公司從事傳感器軟測(cè)量技術(shù)、RFID軟技術(shù)、無線傳感器網(wǎng)絡(luò)及相關(guān)中間件軟件平臺(tái)研發(fā)：
ZTMS實(shí)時(shí)在線厚度測(cè)量?jī)x是用進(jìn)口激光位移傳感器數(shù)字口配上自行開發(fā)的軟件在PC機(jī)上運(yùn)行的軟測(cè)量技術(shù)；
激光輪廓掃描傳感器零件輪廓尺寸圖像處理軟件；
厚度、高度、寬度、長(zhǎng)度、表面平整度、輪廓等軟硬件系統(tǒng)成套。
代理德國(guó)、美國(guó)等傳感器國(guó)際品牌產(chǎn)品：
激光位移傳感器、激光輪廓掃描傳感器、激光幕簾尺寸、激光測(cè)距測(cè)速、激光測(cè)速測(cè)長(zhǎng)、激光鈉米級(jí)位移傳感器、光譜共焦鈉米級(jí)位移傳感器、激光散斑粗糙度傳感器、電容位移傳感器、電渦流位移傳感器、光柵位移傳感器、光纖位移傳感器、超聲位移傳感器、拉繩位移傳感器、電感直線位移傳感器、電阻直線位移傳感器、磁致伸縮直線位移傳感器、磁柵直線位移傳感器、容柵直線位移傳感器等
以及振動(dòng)速度、加速度、應(yīng)變、轉(zhuǎn)速、傾角、RFID、高速高清攝像及無線產(chǎn)品等。
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