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1. 測量范圍： 0—500mm ；
2. 光柵式測微表： 0．25 µm；
3. 工作臺的平面度： 3．5．µm/780200mm
4. 儀器的示值變動性： ±0．5µm；
5. 儀器的綜合示值誤差： ±(0.5+L/300mm )
µm，L為被測長度以mm單位；
6. 體 積： 0．63×0．43×0．75m；
7. 重 量： 70kg
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