CX系列電源為了滿足在半導(dǎo)體工藝的高頻驅(qū)動(dòng)等離子系統(tǒng)的性能要求而設(shè)計(jì)的。應(yīng)用領(lǐng)域包括：刻蝕、RIE、平板、ICP、射頻濺射、CVD和PVD，同時(shí)也應(yīng)用在感應(yīng)和介質(zhì)加熱的工業(yè)領(lǐng)域。
特點(diǎn)：
●        全固態(tài)設(shè)計(jì)：體積小，長(zhǎng)壽命低維護(hù)
●       “S”專利技術(shù)：解決了傳輸線長(zhǎng)度受限制的問題，同時(shí)可提高抵抗由于等離子體阻抗波動(dòng)帶來的功率增益變化，從而提高電源的壽命和匹配網(wǎng)絡(luò)的穩(wěn)定性
●          通過了多項(xiàng)國際安全認(rèn)證（CE，ETL，SEMI F47），使產(chǎn)品的安全性能得到保障
●          本地控制面板通過4個(gè)軟鍵和高精密編碼器進(jìn)行操作，高清晰蘭色背光液晶顯示屏，使得操作過程簡(jiǎn)單而舒適
●          遠(yuǎn)程控制接口：標(biāo)準(zhǔn)RS232，數(shù)字/模擬控制接口，DeviceNet(可選)
●          多種安全保護(hù)技術(shù)：過溫保護(hù)，失諧保護(hù)，過流保護(hù)，射頻輸出連接器互鎖，控制信號(hào)保 護(hù)等
●          控制電路確保了在高壓駐波比條件下的可持續(xù)性
基本參數(shù):
l         功率控制              0～10VDC輸入信號(hào)控制，產(chǎn)生0～最大標(biāo)定功率輸出
l         功率控制線性          設(shè)置功率在大于額定功率10%的條件下≤2%
l         頻率                  2～30MHZ范圍內(nèi)的任何確定頻率
l         頻率的穩(wěn)定性          13.56MHZ±0.005％

Match Pro系列自動(dòng)匹配器
 具有COMDEL獨(dú)一無二的PROTRAK的工程設(shè)計(jì)技術(shù)，高速調(diào)配運(yùn)算使系統(tǒng)接近調(diào)配點(diǎn)時(shí)調(diào)配速率逐漸降低，甚至在高Q值負(fù)載條件下實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確調(diào)配。線形控制電路是COMDEL 的Match Pro與其他匹配器重要的不同之處。在響應(yīng)工藝過程中發(fā)生負(fù)載阻抗特性變化時(shí)，Match Pro很快地、準(zhǔn)確地及可靠地調(diào)節(jié)到50歐姆的阻抗。
特點(diǎn)：
1.       自動(dòng)調(diào)諧匹配，可實(shí)現(xiàn)真空電容調(diào)節(jié)，自動(dòng)運(yùn)行期間無須人工干預(yù)
2.       Match Pro可在50～50000W功率范圍內(nèi)工作
3.       自動(dòng)控制和手動(dòng)控制模式：手動(dòng)模式是通過本地和遠(yuǎn)程手動(dòng)控制調(diào)節(jié)來達(dá)到調(diào)節(jié)電容的目的
4.       在等離子體點(diǎn)火前，可預(yù)先設(shè)置電容的初始位置，以實(shí)現(xiàn)在阻抗變化期間，能快速、穩(wěn)定的匹配調(diào)整
5.       電容位置展示的結(jié)果，可明顯展示工藝阻抗變化的特征
6.       大功率，MOSFET場(chǎng)效應(yīng)管設(shè)計(jì)的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路，使馬達(dá)運(yùn)行得到合適的速率，從而提高匹配網(wǎng)絡(luò)的穩(wěn)定性
7.       選擇數(shù)字型的遠(yuǎn)程控制遙控器，可顯示電容的位置及DC偏壓