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型號 | 過渡室 真空度 | 箱體 真空度 | 過度室尺寸 (單位:mm) | 箱體尺寸 (單位:mm) | 保壓時間 | 使用氣體(純度 99.95%以上) | 手套口直徑 |
CLX-1型 | -0.1MPa | -0.1MPa | Φ225×250 | 600×500×660 | 12小時以上 | 氬氣 氦氣 氮氣 | Φ150mm以上 |
CLX-2型 | -0.1MPa | -0.1MPa | Φ285×350 | 800×660×700 | |||
CLX-3型 | -0.1MPa | -0.1MPa | Φ345×400 | 1200×710×1120 |
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