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氣體質(zhì)量流量計(jì) | |||||||||||||||||||||||||||||||
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alicat差壓原理和熱式原理的對(duì)照表指 標(biāo) alicat層流差壓式原理 典型熱式原理 傳感器 固態(tài)硅基差壓傳感器 rtd或熱電偶 流量范圍 滿量程從0.5sccm到1500slpm 滿量程從3sccm到1000slpm 響應(yīng)時(shí)間 10毫秒(控制器100 毫秒) 0.3-3.0秒 顯示屏 標(biāo)準(zhǔn),內(nèi)置 可選項(xiàng),外部裝配 預(yù)熱時(shí)間 <1秒 8-30分鐘 累計(jì)流量 可選項(xiàng),內(nèi)置 可選項(xiàng),外部裝配 過程數(shù)據(jù) 內(nèi)置顯示屏顯示質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度和在線絕對(duì)壓力 質(zhì)量流量 輸出選項(xiàng) 標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)置顯示屏,模擬信號(hào)(0-5vdc,0-10vdc,1-5vdc或4-20ma)和標(biāo)準(zhǔn)rs232接口;
可采用第二路模擬輸出體積流量、溫度或絕對(duì)壓力 標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出,可選顯示屏,可選數(shù)字輸出 數(shù)字輸出 標(biāo)準(zhǔn)輸出包括質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度、在線絕對(duì)壓力、測量氣體;可選累計(jì)流量;標(biāo)準(zhǔn)multi-dr-op rs232接口 可選質(zhì)量流量數(shù)字輸出;無multi-dr-op選項(xiàng) 供應(yīng)電源 7-30vdc,35ma的標(biāo)準(zhǔn)ac/dc轉(zhuǎn)換電源;
可使用一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的9v電池包供電 特殊供應(yīng)電源,正和負(fù)的穩(wěn)定15vdc 過程連接 標(biāo)準(zhǔn)的npt或小巧的氣動(dòng)配件,可選sae,bspp等接頭 特制swagelok?、vcr等 多種氣體測量性 可從內(nèi)置菜單選擇30種標(biāo)準(zhǔn)氣體 單一氣體,需指定 固有線性 有 無 文件 內(nèi)置顯示屏顯示型號(hào)數(shù)、連續(xù)號(hào)數(shù)、制造日期、校驗(yàn)技術(shù)員和軟件版本、型號(hào)/連續(xù)號(hào),簽條也同樣為標(biāo)準(zhǔn)的 產(chǎn)品的貼紙上
alicat氣體質(zhì)量流量計(jì)利用兩個(gè)已研究透徹的氣體物理屬性:壓力和粘性來測量流量。通過層狀流量單元的差壓測量來計(jì)算流量,這種測量方式具有固有的線性。采用差壓、絕壓和溫度傳感器來測量并補(bǔ)償氣體的壓力、溫度,測量標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(如1個(gè)大氣壓@
alicat氣體體積流量計(jì)采用差壓傳感器來測量當(dāng)前狀態(tài)下的體積流量。由于它沒有內(nèi)置絕壓和溫度傳感器,價(jià)格會(huì)便宜一些,是相對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)的另一種選擇。
本地顯示:
alicat所有產(chǎn)品均提供本地顯示標(biāo)準(zhǔn)功能(無顯示產(chǎn)品可以用于oem)。氣體質(zhì)量流量計(jì)和體積流量計(jì)在主顯示上均提供了不同的過程參數(shù)信息,用戶通過按鍵可以選擇主顯示(main mode display)和所測的氣體(30種氣體), 調(diào)節(jié)流量計(jì)響應(yīng)時(shí)間,把流量計(jì)流量清零。
滿量程:從0.5CCM到1500LPM+;響應(yīng)時(shí)間:100毫秒;精度:±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(高精度選項(xiàng)±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程);30種氣體選擇,無須重新校驗(yàn);本地控制能力,動(dòng)態(tài)數(shù)字顯
滿量程:從0.5CCM到1500LPM+;響應(yīng)時(shí)間:10毫秒;精度:±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(高精度選項(xiàng)±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程);30種氣體選擇,無須重新校驗(yàn);輸出:RS-232、4-2
滿量程:從0.5CCM到1500LPM+;響應(yīng)時(shí)間:100毫秒;精度:±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(高精度選項(xiàng)±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程);30種氣體選擇,無須重新校驗(yàn);本地控制能力,動(dòng)態(tài)數(shù)字顯
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