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光切法顯微鏡規(guī)格：
測量范圍不平度平均高度值 （微米） | 表面光潔度
級 別 | 所需物鏡 | 總放大倍數(shù) | 物鏡組件 工作距離 （毫米） | 視 場 （毫米） |
＞0.8～1.6 ＞1.6～6.3 ＞6.3～20 ＞20～80 | 9 8～7 6～5 4～3 | 60倍N.A.0.55 30倍N.A.0.40 14倍N.A.0.20 7倍N.A.0.12 | 510倍 260倍 120倍 60倍 | 0.04 0.2 2.5 9.5 | 0.3 0.6 1.3 2.5 |
攝影裝置放大倍數(shù) 約6倍
測量不平度范圍 (0.8～80)微米
不平寬度 用測微目鏡 0.7微米～2.5毫米
用坐標工作臺 (0.01～13)毫米
儀器重量 約23公斤
光切法顯微鏡外形尺寸 約180×290×470毫米
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