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美國MDC公司的CSM/Win系列C-V測(cè)試儀包含了單頻、多頻電容電導(dǎo)儀和準(zhǔn)靜態(tài)電容表。對(duì)于任意一種類型的儀表,都可以根據(jù)需要來選擇它的精度和電壓范圍。
MDC公司的C-V測(cè)試系統(tǒng)不僅僅可以測(cè)量半導(dǎo)體材料的電容電導(dǎo)(capacitance and conductance)特性,還包括電流電壓(current-voltage )測(cè)試、 柵氧損耗(gate oxide integrity)、高級(jí)MOS電荷分析(advanced MOS charge analysis)、表面陷阱電荷密度(interface trap density)、介電常數(shù)(dielectric constant)和TVS分析(Triangular Voltage Sweep analysis)等等。另外,也只有MDC公司才可以幫助客戶實(shí)現(xiàn)其特殊應(yīng)用的需求。我們可以根據(jù)用戶的需要來定制軟件和硬件系統(tǒng),用以滿足不同客戶的需求。
有兩種平臺(tái):水銀(汞)探針(Mercury Probe)、熱吸盤(Hot Chuck)可供選擇。
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