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Omicron超高真空分子束外延生長及分析系統(tǒng)（MBE）Omicron超高真空分子束外延生長及分析系統(tǒng)（MBE）介紹 |
Multiprobe MBE系列產(chǎn)品滿足現(xiàn)代納米技術(shù)研究對于結(jié)合高質(zhì)量MBE與可靠的多功能表面分析的最苛刻的要求。
Omicron超高真空分子束外延生長及分析系統(tǒng)（MBE）表面分析主要特點：
-STM與AFM可實現(xiàn)原子分辨的結(jié)構(gòu)分析
-譜學研究
-原位同時進行SPM，SEM，SAM測量
-原子尺度的樣品控制
-針對最佳化學分析的XPS或單色XPS
-針對小于10nm結(jié)構(gòu)化學分析的SAM
-結(jié)合Omicron Gemini電鏡在超高真空中實現(xiàn)3nm分辨SEM測量
Omicron超高真空分子束外延生長及分析系統(tǒng)（MBE）主要特點
-高質(zhì)量的材料生長
-設(shè)計兼容從小樣品直到4英寸基片
-可選RHEED，RGA以及束流監(jiān)測
-提供原位檢測技術(shù)，如測溫儀，橢偏儀和反射光譜
-對于高純度高熔點材料可選用電子束蒸發(fā)源
-適于II/VI族與III/V族組分的半導(dǎo)體材料
-可提供蒸發(fā)源，裂解源等
-生長過程的軟件/硬件控制系統(tǒng)
Omicron超高真空分子束外延生長及分析系統(tǒng)（MBE）主要特點
1.可以在生長過程中及過程間實現(xiàn)納米級的表面觀察與表征，無需將樣品暴露于大氣環(huán)境
2.模塊化的系統(tǒng)設(shè)計與靈活的MBE源選取保證最大程度滿足客戶的需要
3.多種分析手段相結(jié)合：STM，AFM，XPS，UPS，AES，LEED，SAM，PEEM ...
4.多種MBE腔室，樣品直徑最大可達4英寸
5.襯底溫度可達1250℃
6.系統(tǒng)升級及擴展極為方便
7.可以根據(jù)客戶的需要定制系統(tǒng)
飛行時間二次離子質(zhì)譜（TOF-SIMS)可以廣泛應(yīng)用于物理，化學，微電子，生物，制藥，空間分析等工業(yè)和研究方面。 TOF-SIMS可以提供表面，薄膜，界面以至于三維樣品的元素，分子等結(jié)構(gòu)信息。
Omicron超高真空掃描探針顯微鏡 UHV SPM（UHV SPM）
主要特點1.樣品最大可達4英寸直徑 2.溫度范圍從<5K至1500K 3.極低的漂移 4.具備原位蒸鍍的能力 5.優(yōu)秀的STM以及I/V，dI/dV譜性能 6.簡單安全的針
超高真空薄膜生長及表面分析系統(tǒng)主要產(chǎn)品：掃描探針顯微鏡,表面分析,超高真空系統(tǒng),樣品準備和薄膜生長設(shè)備
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