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快速熱退火爐

快速熱退火爐

  • 價(jià) 格： 電議
  • 型號(hào)：
  • 生 產(chǎn) 地：韓國(guó)Ecopia
  • 訪問(wèn)：477次
  • 發(fā)布日期：2009/11/2(更新日期：1900/1/1)

東方銳進(jìn)(香港)有限公司

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1)400℃以上穩(wěn)定吸收(空氣中)；2)保持wafer平整；3) 緊湊設(shè)計(jì)，有競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格，方便的溫控；4) 熱處理空間-最大3英寸；5) 樣品表面污染最�。�
  • 詳細(xì)內(nèi)容
  • 公司簡(jiǎn)介

規(guī)格：

1) Temperature : Max. 1500℃ in vacuum chamber 2) Max 400℃ at the air. 3) Pressure : torr(Ultimate Pressure within minutes by small chamber) 4) PG / PBN Spec : 1300 watt, 220V, 15-25 Ohm, 15 A(max.)

1) PG / PBN Heating Chuck (1 inch, ,2 inch, 3 inch : Circled feature)
2) Temp, control part
3) Gas injection part

Ecopia’s Heat-Treatment System is new concept of adopted PG/PBN electrostatic heater system that combining small-sized ceramic heater, electricity conduction ceramics PG(Pyrolytic Graphite) and electricity insulation ceramics PBN (Pyrolytic Boron Nitride). It is a convenient and useful system that can perform high efficiency,small capacity and high speed responsiveness of small RTA(Rapid Thermal Anneal) by short time of temp rising(1000℃/10sec) , providing uniform temp on surface.

 


東方銳進(jìn)（香港）有限公司是一家專門從事納米科技、材料分析、生物安全儀器設(shè)備銷售、服務(wù)及技術(shù)咨詢的高科技公司。我們獨(dú)家代理了多家世界先進(jìn)水平的分析儀器，產(chǎn)品包括：
 法國(guó)GBX公司的接觸角分析儀(Contact Angle Meter)、表面張力儀(Tension Meter)、水活度儀(Water Activity Meter)、高溫粘度計(jì)(HT Viscometer)等；
芬蘭Kibron公司的LB膜分析儀、微張力儀、高通量微張力儀、便攜式全自動(dòng)表面張力儀等；
 以色列Nanonics成像有限公司的近場(chǎng)光學(xué)掃描顯微鏡(NSOM)、同時(shí)在線AFM-微Raman光譜聯(lián)用、原子力顯微鏡(AFM)、超高真空超低溫掃描探針顯微鏡、AFM-SEM聯(lián)用等；
 瑞士LSI公司的3D DLS動(dòng)靜態(tài)光散射儀；
美國(guó)DT公司的膠體顆粒度及zeta電位儀；
美國(guó)劍橋納米有限公司的原子層沉積系統(tǒng)；
 韓國(guó)Ecopia公司的霍爾效應(yīng)測(cè)試儀(Hall Effect Measurement System)、四點(diǎn)探針/探針臺(tái)(Probe Station)、LED測(cè)試儀(LED tester)、快速退火爐；
南非DDS公司的Cal2k煤炭工業(yè)氧彈量熱計(jì)(Calorimeter, Coal Industry)、Cal2k ECO實(shí)驗(yàn)室用氧彈量熱計(jì)(Calorimeter)；
德國(guó)Rhoetec公司實(shí)驗(yàn)室旋轉(zhuǎn)粘度計(jì)、落球式粘度計(jì)，在線旋轉(zhuǎn)粘度計(jì)、毛細(xì)管粘度計(jì)，流變儀等；
 新加坡ESCO公司的生物安全柜、超凈工作臺(tái)；
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