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MUEGGE、MUEGGE磁控管、MUEGGE環(huán)流器、MUEGGE電源、MUEGGE波導元件
上海鴻源電氣自動化有限公司優(yōu)惠供應MUEGGE磁控管、MUEGGE環(huán)流器、MUEGGE電源、MUEGGE波導元件
MUEGGE長期致力于工業(yè)微波加熱系統(tǒng)及相關微波元件的研發(fā)、生產工作，其工作頻率分別為915MHz和
2450MHz，輸出功率最小300W，最大可達100KW，我公司所有產品全部在室內安裝、檢測；另外其可根
據(jù)用戶需求，為您量身訂做特種的工業(yè)微波加熱系統(tǒng)。
MUEGGE公司擁有30年工業(yè)微波產品的生產制造經驗，始終為用戶提供最新、最尖端的技術及產品，我們
提供的微波電源、發(fā)生器全部由微電腦控制，可實現(xiàn)任何接口的通訊對接。
MUEGGE產品涵蓋了從微波工業(yè)加熱到等離子應用的多種工業(yè)場合，同時還可以為科研機構提供專用設備
。
3KW微控管總成3KW ME0118P-015AB3KW微控管3KW MB2658A-110EA2KW微波頭2KW MH2000S
-218BB3KW微波頭3KW MH3000S-222BB3KW 微波電源3KW MX3000X-125KL 微波電源射頻電源線
，40.68MHZ 60.00MHZ 81.36 100HZ 100MHZ德國射頻電源畜能器液壓畜能器，液壓油缸MUEGGE微
波等離子源/ PECVD/鍍膜微波等離子PECVD
微波鍍膜
微波等離子清洗
微波等離子蝕刻
MUEGGE微波發(fā)生器100KW100KW 915MHZ微波發(fā)生器MUEGGE微波電源微波電源，2450MHZ
20KWMUEGGE微波頭 磁控管頭緊促型微波頭，適用于等離子行業(yè)的用戶MUEGGE微波發(fā)生器
5KW915MHZ5KW 915MHZ 微波發(fā)生器
用于制藥，木材烘干，陶瓷處理等R3T等離子蝕刻機/SU-8移除最領先的快速等離子蝕刻技術：德國R3T
高速等離子蝕刻機
等離子蝕刻，干法蝕刻機，灰化，去膠，SU-8移除，應力消除，遠程等離子源，MEMS（微機械零件加
工），等離子干法蝕刻，親水性/斥水性改變，表面糙化處理。型號STP 2020，STP1010用于小樣板，
＞20um/分鐘
MUEGGE磁控管1260W- 2450 MHz
- 1260 W Power Output（matched load）
- Water-cooled anode - Packaged magnet
- Probe output - approx.: 70 % efficiency
UEGGE磁控管2M265-M12WJ3KW 水冷磁控管
MUEGGE磁控管TYPE: 2M130-71 （Hitachi）
2050 W CW Magnetron
MUEGGE磁控管75KWMagnetron
Large Power Magnetron -
For Industrial Applications
Ceramic-Metal Construction
75 kW at 915 MHz
All Magnetron Support Equipment Available
MUEGGE磁控管6KW?2450 MHz
?6000 W Power Output （matched load）
?Water-cooled anode
?Packaged e-magnet
?Probe output
MUEGGE水冷磁控管 3KWFEATURES:
- 2455 MHz （+/-15MHz）
- Highest S-band Power Output - 3000W
- 70% efficiency, typical
- Water-cooled anode
- Coaxial launch into WR-340
- permanent magnet
MUEGGE磁控管 MB2568A2KW磁控管，水冷
MUEGGE微波頭 磁控管頭- 2 kW HF-Power output
- Open mounted
- Int.filament transformer
- Int. magnetron, water cooled
- Int. Temperature switch
- Int. Isolator
- Int. Stub-TunerMUEGGE同軸微波發(fā)生器 300WHF-POWER : 300W CW / 500W Pulse
（0...100%）
PULSEABLE : Up to 25kHz
FREQUENCY : 2,45GHz +-20MHzMUEGGE同軸微波發(fā)生器 500W- Continuous power control
- High efficiency
- Ripple <1% peak-to-peak
- Pulsable up to 25kHzMUEGGE微波等離子系統(tǒng)蝕刻率：
用于SU-8樣板，＞20um/分鐘
用于硅樣板，可以達到90um/分鐘
溫度控制達到120℃
基板尺寸達到460mm*460mm
MUEGGE等離子設備各向同性蝕刻
對于SU8去除超過20um/min
對硅多種樣品達90 um/min
對300mm晶片上光電保護層灰分達到10 um/min
SiN和BPSG：典型1 um/min
熱氧化物：典型250 nm/min
MUEGGE3短截調諧器-功率：3 KW（最大）
-頻率：2450MHz，+/- 50 MHz
-調節(jié)量：電壓駐波比（VSWR）10 （1KW）
MUEGGE自動調諧器-調節(jié)范圍：VSWR<10:1
-調節(jié)精度：1%
-調節(jié)速度：1秒
MUEGGE環(huán)流器-隔離：26 dB
-輸入功率：6000W
-反射功率：6000W
MUEGGE環(huán)流器微波隔離元件
-隔離：最小23 dB
-輸入功率：3000W cw
-反射功率：3000W cw
MUEGGE波導3短截調諧器 型號：MW2009A-260ED
工業(yè)微波源
調諧系統(tǒng)
MUEGGE等離子微波電源低壓微波等離子源
實用的設計
小型化設計
廣泛應用
高密度等離子體
高效率
損傷小
容易適配用戶系統(tǒng)
MUEGGE微波等離子系統(tǒng)高頻頻率：2.45GHZ 尺寸：用戶指定
915MHZ 材料：箱體：鋁
5.8GHZ 氣體簇射：鋁
高頻輸入功率：典型2KW/m@100pa
等離子源：石英，Al2O3
處理壓強：典型10pa—100pa 制冷：水冷/風冷結合
等離子體密度：達到1012/cm3@2.45GHZ
連接器：微波：同軸連接器
電子溫度：~2ev
水：擠壓
均勻性：優(yōu)于5%
MUEGGE波導元件-角度：90度
-半徑：100mm
-功率：30 KW
-頻率：2.45GHz，+/- 30 MHz
-波導尺寸：WR340
-法蘭：UDR26
-材料：鋁
-表面處理：RAL 7035
-重量：500g
MUEGGE波導元件E型彎頭—90度MUEGGE微波等離子系統(tǒng)微波等離子體CVD設備
高效硅基薄膜太陽能電池的PECVD設備
磁控濺射鍍膜及PECVD設備
在PECVD沉積室主要用于射頻增強
等離子氣相沉積的方法制備各種薄膜。
MUEGGE大功率微波頭2450MHZ 15KW 20KW 30KW
915MHZ 5KW 30KW 50KW 75KW 100KWMUEGGE微波頭 磁控管頭高頻輸出功率：1 KW/ 2
KW/ 3 KW
頻率：2.45GHz，+/- 20 MHz
冷卻方式：水冷，最大3升/分鐘
-配備微波隔離器
重量：約17kgMUEGGE等離子微波電源輸出：
連續(xù)波 1250W
連續(xù)波 2000W
連續(xù)波 300W
連續(xù)波 6000W
效率： 滿輸出功率時約90%
脈沖： 達到500HzMUEGGE低波微波電源-高頻最大功率輸出3200W，脈沖工作模式
-頻率范圍200Hz-10kHz
MUEGGE脈沖微波電源脈沖微波電源：
CW 2KW 脈沖到4.5KW
CW3KW脈沖到10KW
50KW脈沖微波電源
-<1%的低波動率（波峰-波峰）
-脈沖上升時間（rise time）<10us
-脈沖回落時間（fall time）<10us
-功率波動率<1%
-脈沖衰減<1%MUEGGE標準微波電源標準微波電源功率有：
2450MHZ 1250W 2KW 3KW 6KW 10KW 15KW 20KW 30KW
915MHZ 5KW 30KW 50KW 60KW 75KW 100KW
5800MHZ 700WMUEGGE標準微波電源標準微波電源功率有：
2450MHZ 1250W 2KW 3KW 6KW 10KW 15KW 20KW 30KW
915MHZ 5KW 30KW 50KW 60KW 75KW 100KW
5800MHZ 700WMUEGGE LC電感微波電源電源的分類：
LC 電感電源，功率不可調
標準電源
脈沖電源
低波動率微波電源
MUEGGE LC電感微波電源電源的分類：
LC 電感電源，功率不可調
標準電源
脈沖電源
低波動率微波電源
MUEGGE磁控管工業(yè)用磁控管他三種頻率：2450MHZ 915MHZ 5800MHZ
上海鴻源電氣自動化有限公司代理、經銷、廠家特供：
流體控制：VERSA電磁閥，ROSS電磁閥、雙聯(lián)閥，F(xiàn)LUTEC節(jié)流閥、電磁閥，WAIRCOM電磁閥，
RICKMEIER齒輪泵，SCHMALENBERGER泵，CO-AX電磁閥，Integral Hydraulik閥，HYDAC球閥，
Schwarzer Precision真空泵，DUPLOMATIC閥；
傳感器：WARNER離合器、ALTHEN傳感器，SCHENCK傳感器、SCHENCK瓦振探頭，SCHAEVITZ
壓力傳感器，ENTEK狀態(tài)監(jiān)測系統(tǒng)，BURSTER傳感器、BURSTER放大器，SENSOTEC傳感器，
TRAFAG傳感器，RECHNER傳感器，HUBNER傳感器，AST傳感器，BENTLY傳感器，Bourdon Haenni
傳感器，HESMOR編碼器，HYDAC傳感器，JML編碼器、JML傳感器，PULSOTRONIC傳感器，VIBRO傳
感器，；
電工電器：FRAKO電容器，GEORGIN壓力開關，GEORGIN差壓開關，BARKSDALE壓力開關，
BARKSDALE流量計，STOTZ電氣轉換器，ARCOLECTRIC開關，HERGA開關，PIZZATO限位開關、
PIZZATO行程開關，F(xiàn)RAKO電容器，CRYDOM固態(tài)繼電器，SANREX模塊，CELDUC固態(tài)繼電器，
Wieland模塊、繼電器，TRAFAG壓力開關，KIEPE拉繩開關，Startco繼電器，JOSLYN CLARK接觸器、
斷路器，KACON按鈕開關，Beck開關，Bourdon Haenni開關，EVCO溫控器，F(xiàn)LUID TEAM定位器，
GELBAU繼電器，Giovenzana開關，NOSHOK壓力表，REO電阻，schleicher繼電器，WATLOW加熱器；
傳動控制：IGUS塑料拖鏈，IGUS控制電纜，CPS拖鏈、波紋管，KABELSCHLEPP拖鏈，Brevetti拖鏈
，ROLLON導軌，SCHNEEBERGER導軌，PARVALUX電機，SERVO電機，MOTEC減速機，WARNER氣
動離合器，BALDOR電機，MINARIK電機，BERGER LAHR伺服電機、控制器，BOSTON減速機，
MARLAND離合器，NUTALL減速機，MATRIX離合器，INDUSTRIAL離合器，F(xiàn)ORMSPRAG離合器，
STIEBER離合器，TWIFLEX執(zhí)行器，AMERIDRIVES高效聯(lián)軸器，Inertia離合器，AIRFLEX制動器，
GOIZPER離合器，F(xiàn)AWICK離合器。
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